Gebraucht BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 #293643080 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 ist ein zuverlässiger, industrieller Wafer-Handler, ideal für Halbleiterhersteller. Dieser Wafer-Handler ist modular aufgebaut und ermöglicht es Herstellern, die Ausrüstung an ihre genauen Bedürfnisse anzupassen und verschiedene Arten von Roboterarmen, Booten und Aussichtspunkten zu verbinden. Das System akzeptiert alle Arten von Halbleiterscheiben, wie die 200mm, 300mm oder 500mm, sicher und sicher. Darüber hinaus verfügt es über eine hohe Partikelkontrolle und Sauberkeit, um die höchsten Anforderungen zu erfüllen. Der Kern von 002-7391-47 ist seine Roboterarmmontage. Dieser flexible und spindelige Arm bietet Präzisionsbewegungen zur Ausrichtung und Übertragung von Wafern. Es ist aus Aluminiumlegierung und kann bis zu 200 mm in Hubhöhe bewegen, so dass eine zuverlässige und genaue Übertragung von Wafern zwischen der Quelle und dem Bestimmungsort Pod. Der andere Kernteil der Einheit ist die Bootsanordnung, die den Transport und die Lagerung der Wafer in verschiedenen Phasen des Herstellungsprozesses unterstützt. Das aus Edelstahl gefertigte Boot kann bis zu 200 Scheiben unterschiedlicher Durchmesser und Dicken aufnehmen. Es hat eine niedrige Fehlerquote mit Funktionen wie einer Anti-Skip-Maschine, die minimale Waferschäden bei der Übertragung ermöglicht. Das Boot verfügt außerdem über einen eingebauten Sicherheitsmechanismus, der eine Überhitzung verhindert und mit einem optionalen Inertatmosphäre-Erzeugungsmodul ausgestattet ist. BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 verfügt auch über eine Viewport-Baugruppe, die dem Bediener eine klare Sicht während des gesamten Prozesses bietet. Das Glas des Viewports ist ungehindert, so dass der Bediener die Waferbearbeitung ohne Behinderung überwachen kann. Darüber hinaus wird der Sichtbereich mit einer Dichtung gegen Staub und Feuchtigkeit abgedichtet. Schließlich ist 002-7391-47 auch aus hochwertigem Aluminium und Edelstahl gebaut, um zuverlässige Leistung und einfache Wartung zu gewährleisten. Alle Teile sind präzise konstruiert und ermöglichen einen reibungslosen Betrieb, eine hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit über mehrere Prozesse hinweg. Der modulare Aufbau ermöglicht auch eine einfache Installation mit minimalen Ausfallzeiten. Zusammenfassend ist BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 ein zuverlässiger, hochmoderner Wafer-Handler, ideal für Halbleiterhersteller. Es ist für Flexibilität und Geschwindigkeit konzipiert, mit einem All-in-One-Roboterarm, Boots- und Viewport-Modulen, mit zusätzlichen Funktionen wie niedrige Fehlerquote, Anti-Skip-Tool und einem integrierten Sicherheitsmechanismus. Es hat eine hochwertige Konstruktion und einen modularen Aufbau, der eine schnelle und einfache Installation, Wartung und zuverlässige Leistung ermöglicht.
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