Gebraucht BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635378 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 Wafer Handler ist eine fortschrittliche Wafer Manipulation Ausrüstung für hochpräzise Wafer Transfer, Handhabung und Ausrichtung entwickelt. Es ist ein hochentwickeltes System aus rotierenden und linearen Bewegungskomponenten, die zusammenwirken, um Silizium-Wafer exakt an der genauen Stelle für die weitere Verarbeitung oder Lagerung aufzunehmen und zu platzieren. 002-7800-07 verwendet einen präzise bearbeiteten fünfachsigen Roboterendeffektor, der auf optimale Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt ist. Dieser End-Effektor verwendet zwei lineare Übertragungsstufen, eine zur Wafer-Indexierung und einen leistungsstarken dreiachsigen Dreharm zur Ebenheits- und Orientierungsregelung. Die linearen Übertragungsstufen erzeugen eine planare Bewegung in X- und Y-Richtung, während der Dreharm eine Bewegung in drei Achsen bereitstellt: Rolle, Steigung und Gieren. Alle diese Bewegungen werden von einer Servomotor-Steuer- und Antriebseinheit verwaltet, die für die Erzeugung der genau gesteuerten Bewegung verantwortlich ist, die erforderlich ist, um eine empfindliche Handhabung und Platzierung von Wafern mit höchster Genauigkeit zu gewährleisten. BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 enthält auch einen anwenderwählbaren Wafer-Spannmechanismus, der verwendet werden kann, um einzelne oder mehrere Wafer während des Transfers zu sichern. Dieser robuste Spannmechanismus ist elektronisch einstellbar und kann für eine Vielzahl von Wafergrößen konfiguriert werden. Zusätzlich ist eine Wafer-Vorausrichtstufe integriert, die eine präzise Wafer-Position vor der Handhabung des Roboters ermöglicht. 002-7800-07 bietet eine Reihe von externen Schnittstellen für Kommunikation und Maschinensteuerung. Dazu gehören ein serieller Anschluss, USB, Ethernet und eine optionale IEEE 488.2 Schnittstelle. Darüber hinaus kann BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 ferngesteuert oder mit einem grundlegenden Teach-Repeated-Verfahren programmiert werden. Das Werkzeug kann die Position des robotischen Endeffektors auf maximale Genauigkeit durch einen Drehgeber CCD-Messelement und ein optionales Vision-Modell überwachen. Insgesamt ist 002-7800-07 eine fortschrittliche Wafer-Handhabungsausrüstung, die extreme Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Manipulieren und Übertragen von Wafern bietet. Dank seiner leistungsstarken, präzisen Bewegungssteuerungen und externen Schnittstellenfunktionen kann es einen unschätzbaren Schritt bei der Weiterentwicklung des Herstellungsprozesses von Wafern leisten.
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