Gebraucht BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 #9149716 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der für den Einsatz in Labors und Forschungseinrichtungen entwickelt wurde, in denen die präzise Handhabung von Halbleiterscheiben von größter Bedeutung ist. Dieser automatisierte Handler ist in der Lage, 200mm bis 300mm Wafer mit einer integrierten Warmkante und Kaltwandvakuum-Design zu handhaben. Der Wafer-Handler wird über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Benutzeroberfläche gesteuert und ist mit einem 4-achsigen Roboterarm ausgestattet. Dieser Roboterarm hat einen 50mm Bewegungsbereich und kann bis zu maximal 25 kg Material tragen. 003-5000-11 ist mit Bewegungssensoren und hochpräzisen linearen Bewegungsstufen für geräuscharme und stabile Substratübertragung gebaut. Die linearen Bewegungsstufen haben eine variable Drehzahlregelung und weisen eine maximale Drehzahl von 200 U/min mit einer Auflösung von besser als 0,1 Mikrometer auf. Der Wafer-Handler verfügt außerdem über eine vollautomatische Vorausrichtstufe (FAPS) zur präzisen Substratplatzierung. Das FAPS verwendet zwei 1,8-Zoll-CCD-Kameras mit On-Axis und Off-Axis-Beleuchtung zur genauen Ausrichtung. Die BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 ist neben der Hauptfunktion für die Handhabung von Wafern mit mehreren Sicherheitsfunktionen und Verriegelungen ausgestattet, um einen versehentlichen Betrieb zu verhindern. Es hat Vor- und Nachverarbeitungsteile und Werkzeuge sowie elektromagnetische Interferenzfilter (EMI) und manuelle Not-Aus-Tasten integriert. Darüber hinaus ist der Wafer-Handler so konzipiert, dass er den Reinigungsbedarf durch ein halbdichtes ästhetisches Design minimiert. 003-5000-11 wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Verarbeitungstechniken wie Ätzen, Lithographie, Würfeln und Waferbonden zu arbeiten. Es hat einen Betriebstemperaturbereich von 4-60 ° C und einen relativen Feuchtigkeitsbereich von 30-95%, so dass der Handler in einer Reihe von Umgebungen verwendet werden kann. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 ein ausgezeichneter Wafer-Handler für alle Waferbearbeitungsanforderungen. Es ist zuverlässig und präzise mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen, so dass Forscher und Ingenieure ihre Arbeit mit Genauigkeit und Vertrauen zu erfüllen. Mit seiner hochgradig anpassbaren Software und der integrierten Touchscreen-Steuerung ist 003-5000-11 die ideale Wahl für das automatisierte Wafer-Handling.