Gebraucht BROOKS AUTOMATION 121655 #9232807 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION 121-655 ist ein Wafer-Handhabungsgerät, das für einen effizienten Wafertransport und -abgabe entwickelt wurde. Es kann verwendet werden, um bis zu vier 8-Zoll-Wafer auf einmal zu transportieren und auszugeben. Dieses System wird hauptsächlich in Halbleiterherstellungs- und Testlabors sowie in Werkzeugen verschiedener Forschungsinstitute eingesetzt. Das Gerät ist mit austauschbaren Modulen ausgestattet, die eine Anpassung an die Bedürfnisse des Benutzers ermöglichen. Die mitgelieferten Module sind eine einstellbare offene Lade-/Entladekammer, Wafertransport und Verriegelung, Waferspeicherkapazität und Präzisionsmesstechnik-Komponenten. Dieser Wafer-Handler verfügt über mehrere luftlagerbasierte Achsen für den Hochleistungsbetrieb und ist mit einer Vielzahl von Wafer-Handling-Geräten kompatibel. Die Maschine hat zwei Hauptkomponenten, nämlich eine automatisierte Open-Load/Unload-Kammer und ein Bewegungssteuerungswerkzeug. Erstere bietet präzise, hohe Genauigkeit und schnelles Be-/Entladen von Wafern aus Halbleiterwerkzeugen. Es beinhaltet auch ein Gut zur präzisen Positionierung von Wafern in der Operationskammer vor und nach dem Betrieb. Das Bewegungssteuermodell umfasst einen Waferaustauschmechanismus und eine Düsenpositioniereinrichtung, die es ermöglicht, bis zu vier 8-Zoll-Wafer in einer Trommelkonfiguration zu drehen, um die Be-/Entladezeit zu reduzieren. Das Wafer-Handling-System verfügt außerdem über ein flexibles Vakuum-Wafer-Handling-Gerät, eine Temperaturregelmaschine und die Möglichkeit, einen kontaktarmen Plasmaprozess zu ermöglichen. Dieses Wafer-Handhabungswerkzeug hat ein einzigartiges Merkmal, das es ermöglicht, Wafer mit Präzision und Genauigkeit zwischen verschiedenen Werkzeugtypen zu übertragen. Dies hilft Benutzern, die mit dem Transport und der Speicherung von Wafern verbundenen Zeit- und Energiekosten zu reduzieren. 121-655 ist ein zuverlässiges und effizientes Wafer-Handling-Gerät, das alle Benutzeranforderungen erfüllt. Es ist sehr kompakt und energieeffizient, was einen minimalen Platzbedarf gewährleistet. Darüber hinaus wird das Modell mit langlebigen und hochwertigen Komponenten und robuster, benutzerfreundlicher Software gebaut, die einfach zu bedienen und zu bedienen ist. Diese Ausrüstung wurde in Übereinstimmung mit den höchsten Qualitäts- und Sicherheitsstandards hergestellt.
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