Gebraucht BROOKS AUTOMATION 143668 #9254402 zu verkaufen

ID: 9254402
M-Phase dual blade robot Part number: 196635.
BROOKS AUTOMATION 143668 ist ein Wafer-Handler, der entwickelt wurde, um Halbleiter schnell und effizient durch eine Verarbeitungsleitung zu bewegen. Der 143668 Wafer-Handler verwendet eine mehrachsige Bewegung mit hohem Drehmoment und kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm über lange, gerade Abschnitte oder Kurven ohne zusätzliche Hardware transportieren. BROOKS AUTOMATION 143668 ist auch in der Lage, die Temperatur von beheizten Waferspannfutter oder kalten Platten mit einem Bereich von 3 ° C bis 40 ° C genau zu steuern. Das Gerät ist standardmäßig mit programmierbaren Logikcontrollern ausgestattet, mit denen Bediener verschiedene Workflows konfigurieren und ausführen können. 143668 ist mit drei unabhängigen Bewegungsachsen und einer Tragfähigkeit von bis zu 7 Kilogramm ausgestattet. Zwei vertikale Achsen bewegen den Wafer-Handhabungsarm auf und ab, während die dritte Achse ihn zwischen Substratträgern bewegt. Es ist wirklich eine mehrachsige Ausrüstung, die 3D-Bewegungen machen kann. Der Arm hat einen maximalen Hub von 417 mm und eine Zykluszeit von bis zu 8 Sekunden. BROOKS AUTOMATION 143668 Wafer Handler ist für Sicherheit, batteriefreien Betrieb, einfache Integration und Prozesssicherheit konzipiert. Das Gerät wird mit einem Easy EDM-Softwarepaket für einfache Programmierung und Bedienung geliefert. Mit der EDM-Software können Anwender kundenspezifische Workflows für einen individuellen Prozess erstellen. Die Stromversorgung erfolgt direkt über eine externe Wechselstromleitung, wodurch ein umständlicher Batterieaustausch entfällt. Das Gerät verfügt auch über ein fortschrittliches elektronisches Überwachungssystem, das Echtzeit-Feedback über 143668 Leistung und Zustand bietet. BROOKS AUTOMATION 143668 Wafer Handler hat viele Funktionen, um Prozesseffizienz und Zuverlässigkeit zu maximieren. Eine integrierte haptische Rückkopplungseinheit stellt der EDM-Software Echtzeitinformationen zur Waferausrichtung zur Verfügung. Dies ermöglicht dem Bediener eine präzise Kontrolle über die Position eines Substrats, wodurch Fehlstellungen minimiert werden. Die haptische Rückkopplungsmaschine ist auch in der Lage, Informationen über den Fortschritt eines Wafers beim Verschieben von Station zu Station bereitzustellen. 143668 ist ein leistungsfähiger und zuverlässiger Wafer-Handler für alle Prozessanforderungen. Seine hohe Drehmoment-Mehrachsbewegung ermöglicht eine effiziente Substratbewegung auf gekrümmten oder geraden Wegen. Es wird mit einem Easy EDM-Softwarepaket und einem haptischen Feedback-Tool zur Präzisionsscheibenausrichtung geliefert. Die Stromversorgung erfolgt direkt über eine externe Wechselstromleitung, wodurch ein umständlicher Batterieaustausch entfällt. Das Gerät kommt auch mit einer Reihe von Temperaturregelungsoptionen, so dass es für eine Vielzahl von Temperaturen geeignet. Mit seinen Funktionen und Fähigkeiten ist BROOKS AUTOMATION 143668 Wafer Handler eine ideale Wahl für jeden Substratprozess.
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