Gebraucht BROOKS AUTOMATION 199630-0001 #293670619 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION 199630-0001 Wafer-Handler ist ein vielseitiges, Mehrkammer-Design mit verschiedenen Wafergrößen von 100mm bis 300mm. Das fortschrittliche Wafer-Handler-Design ermöglicht eine überlegene Leistung bei der Handhabung von Wafern mit unterschiedlichen Durchmessern. Kammerkörper und Deckel sind aus hochfestem korrosionsbeständigem Edelstahl und der Rahmen aus geschweißten Aluminium-Extrusionen gefertigt. 199630-0001 Design verfügt über ein encodergesteuertes, umwickeltes Gurtsystem, das das Materialprallen reduziert und einen konsistenten, glatten Wafertransfer zwischen den Prozesskammern ermöglicht. Die Bewegung des Bandes ist assymetrisch, wodurch sichergestellt wird, dass sich die Wafer berührungslos oder störungsfrei mit anderen Komponenten und Materialien in der Kammer bewegen. Der Antrieb kann eingestellt werden, um eine optimale Riemengeschwindigkeit und Beschleunigung für eine Vielzahl von Wafergrößen zu ermöglichen. Die Innenraumkomponenten von BROOKS AUTOMATION 199630-0001 sind in einer hermetisch abgedichteten Umgebung eingeschlossen und sorgen für eine saubere, trockene Verarbeitungsumgebung. Der Luftstrom durch die Kammer wird durch ein einstellbares Lüftersystem mit elektronischer Lüftergeschwindigkeitseinstellung gesteuert und der Auspuff mit einem Filter integriert. Diese optimierte Umgebung reduziert Sublimation und Kondensation von Material auf den Wafern. Der Wafer-Handler wird über USB-verknüpfte PC-Software überwacht und gesteuert. Wenn ein Fehler erkannt wird, wird ein Fehlercode angezeigt und die Kammer stoppt, bevor das Problem auftritt, wodurch die Wahrscheinlichkeit einer Beschädigung der Wafer verringert wird. Die Software ist für einfache Bedienung konzipiert, mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche und automatisierten Einrichtungsroutinen. 199630-0001 ist ein effizientes, zuverlässiges und wirtschaftliches Wafer-Handling-System. Es ist für optimale Leistung und vollständige Umweltkontrolle für Prozesse wie rückseitige Kontaktöffnung, PH3 Abscheidung und leitende oder dielektrische Sputterabscheidung konzipiert. Das Mehrkammerdesign kann leicht verschiedene Wafergrößen aufnehmen, und die einstellbare Lüftergeschwindigkeit und die kontrollierte Umgebung sorgen für eine saubere, sichere Handhabung der Wafer. Die Software bietet eine einfache Betriebskontrolle mit automatisierten Einrichtungsroutinen und Fehlererkennungsfunktionen. Dieser äußerst zuverlässige, präzise Wafer-Handler ist eine ideale Wahl für Silizium-Wafer-Fabrikatoren und andere Anwendungen, die eine sorgfältige, genaue Wafer-Handhabung erfordern.
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