Gebraucht BROOKS AUTOMATION 300 #9401939 zu verkaufen

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Hersteller
BROOKS AUTOMATION
Modell
300
ID: 9401939
Robot Part number: 003-7000-53.
BROOKS AUTOMATION 300 ist ein automatisierter Wafer-Handler, der die Effizienz und Genauigkeit im Mikroelektronik-Fertigungsprozess verbessert. Es handhabt eine Vielzahl von Wafern, einschließlich Silizium, Keramik und GaAs, in mehreren Geometrien und Größen bis 400 mm Durchmesser. 300 verfügt zudem über ein programmierbares Wafer-Messgerät und ein hochauflösendes Vision-System, das eine präzise Positionierung und Handhabung der Wafer innerhalb des Geräts ermöglicht. BROOKS AUTOMATION 300 ist ein modularer Aufbau, der Flexibilität ermöglicht, die Anforderungen verschiedener Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen, einschließlich Lithographie, thermischer Verarbeitung, Abscheidung, Ätzung und Messtechnik. Seine hohe Genauigkeit und Stabilität ermöglichen eine präzise Kontrolle der kritischen Parameter eines Geräts und erzeugen präzise Schichten mit wenig Variation. Seine Modularität und Flexibilität machen es ideal für Wafer-Cleanup, Wafer-zu-Wafer-Transfer, Wafer-zu-Temperatur-gesteuerte Kassetten und temperaturgesteuerte Kassetten-zu-Kassetten-Operationen. 300 können im manuellen oder automatischen Modus laufen, wobei der Benutzer die Maschine über eine benutzerfreundliche Computeroberfläche steuert. Das Tool verfügt auch über einen integrierten Webserver zur Fernüberwachung und -verwaltung. Darüber hinaus ist es mit mehreren Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um Personal und Ausrüstung zu schützen, einschließlich Not-Aus-Funktionen, wenn der Anlagenverlust erkannt wird. BROOKS AUTOMATION 300 kann mit einer Vielzahl optionaler Hard- und Software integriert werden, einschließlich einer Vielzahl von Waferaufbereitungswerkzeugen, zusätzlichen Detektoren, 3D-Vision-Systemen und Roboterarmen, um seine Fähigkeiten zu verbessern. Das Modell hat auch die Möglichkeit, an ein lokales Netzwerk zur Datenübertragung und -wartung angeschlossen zu werden, sowie die Fähigkeit, sich mit externen Systemen zur Qualitätskontrolle oder -überwachung zu verbinden. 300 ist eine effektive Lösung für effiziente und präzise Wafer-Handhabung und ist für erhöhte Produktivität und Leistung in der Halbleiterherstellung konzipiert. Der modulare Aufbau und die benutzerfreundliche Computeroberfläche ermöglichen eine genaue Steuerung der Geräteparameter und eine flexible Integration von Hard- und Software. Darüber hinaus bietet es eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, um Personal und Ausrüstung zu schützen. BROOKS AUTOMATION 300 ist daher eine effektive und robuste Lösung zur Steigerung der Fertigungseffizienz und -genauigkeit in der Mikroelektronikindustrie.
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