Gebraucht BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9064554 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION ATR-8 ist ein branchenüblicher Wafer-Handler zum zuverlässigen Transport und Austausch von Wafern in vakuum- und druckgesteuerten Umgebungen. Die Ausrüstung zeigt einen Hochleistungs-, Front-End-Oblatenberührenroboter, um bis zu 8 parallele Oblaten an 25 Oblaten pro Sekunde genau zu behandeln und zu übertragen. Der Roboterarmstrahl wird von einem Hochdrehmoment-Direktantriebsmotor für eine reibungslose und genaue Bewegung angetrieben. Das System umfasst auch eine BROOKS AUTOMATION ATR8 kompakte Prozesskammer, die schnell evakuiert werden kann, um Niederdruckumgebungen zu schaffen. ATR-8 verfügt zudem über eine konsistente, zuverlässige Abdichtung zwischen dem Wafer-Handling-Roboter und der Prozesskammer, die qualitativ hochwertige und wiederholbare Ergebnisse liefert. Das Gerät ist mit einer robusten elektronischen Rückmeldung ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die Geschwindigkeit des Roboterarms nach Bedarf zu überwachen und anzupassen. Darüber hinaus ist ATR8 mit den meisten Standard-Waferformaten kompatibel, was eine einfache Austauschbarkeit ermöglicht. BROOKS AUTOMATION ATR-8 verfügt über eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, um einen sicheren und effizienten Wafer-Handling-Prozess zu gewährleisten. Diese Merkmale umfassen eine elektromechanische Bremsmaschine, um die Roboterarme in Eingriff zu bringen und eine sichere Handhabung von Wafern zu gewährleisten. Das Tool verfügt auch über die modernsten Sicherheitsverriegelungssysteme, Kartenleser und visuelle Erkennungstechnologie, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten, während empfindliche Wafer behandelt werden. Darüber hinaus ist die Anlage mit mehreren Sensoren ausgestattet, um Wärme- oder Chemiestände in der Prozesskammer zu erfassen. BROOKS AUTOMATION ATR8 enthält auch ein fortschrittliches Prozesssteuerungsmodell, das Parameter wie Wafertemperatur, Gaswerte, Kammerdruck und Durchflussrate überwacht. Diese Funktion ermöglicht es dem Bediener, die Bearbeitungsbedingungen für Wafer schnell und präzise zu analysieren, anzupassen und zu optimieren. Insgesamt ist ATR-8 eine effiziente und zuverlässige Ausrüstung für die Handhabung und den Transport von Wafern in Vakuum- und Druckumgebungen. Die Kombination aus fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen, robusten elektronischen Rückkopplungssystemen und Prozesssteuerungsfunktionen machen es ideal für kritische Wafer-Handhabungsanwendungen.