Gebraucht BROOKS AUTOMATION Backbone #9294028 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION Backbone ist ein Wafer-Handler ist eine Art wissenschaftliches Instrument, das von Halbleiterherstellern zur Übertragung und Verarbeitung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Der Hauptzweck des Wafer-Handlers besteht darin, den Wafer-Transport und die Verarbeitung von einer Fertigungsstufe zur nächsten mit minimalem manuellen Eingriff zu automatisieren. Backbone ist ein vollautomatisches Wafer-Handling-Gerät, das den Transport von Halbleiterscheiben zwischen Verarbeitungsschritten und die Lagerung von Wafern während erweiterter Verarbeitungsläufe ermöglicht. Im Kern setzt sich BROOKS AUTOMATION Backbone aus einer Reihe von Transportmechanismen und Kammermodulen für den Transport und die Lagerung von Wafern während der Fertigungsprozesse zusammen. Die Transportmechanismen werden verwendet, um Wafer von den Eingangsmodulen zu den angegebenen Verarbeitungsmodulen zu bewegen, während die Kammermodule als Materialisierungspunkte innerhalb des Systems fungieren. Jedes Modul ist so konzipiert, dass es spezifische Anforderungen an Druck, Temperatur, Umwelt und Sauberkeit wie dynamische Reinigung oder Vorkonditionierung der Atmosphäre für empfindliche Prozesse erfüllt. Backbone ist auch mit Sensoren ausgestattet, um die Bedingungen der Einheit zu messen, wie Druck und Temperatur. Um eine genaue und sichere Lieferung zu gewährleisten, ist BROOKS AUTOMATION Backbone mit fortschrittlichen Bewegungssteuerungssystemen konzipiert, die Präzisionskontrolle sowie Sicherheitsmaßnahmen bieten. Dies ist erforderlich, damit Waferträger sicher sein können, dass sie sich genau und in die richtige Richtung bewegen, dass kein Kontakt zwischen Trägern besteht und dass die Träger vorsichtig mit Wafern umgehen, ohne dass sie beschädigt werden. Backbone unterstützt auch verschiedene Arten von Waferträgern wie 200mm, 300mm, tappered und andere benutzerdefinierte Größen. Auch für Hochtemperaturprozesse geeignete Träger stehen zur Verfügung. Die Maschine ermöglicht auch einfache Anpassungen und Modifikationen per Software für verschiedene Wafergrößen. Insgesamt stellt BROOKS AUTOMATION Backbone ein zuverlässiges und anspruchsvolles Wafer-Handling-Tool dar, das einen sicheren, präzisen und effizienten Transport und die Lagerung von Wafern bietet. Es vereinfacht die manuelle Handhabung und ermöglicht wiederholbare Ofenprozesse mit kontrollierbarem Vakuum sowie eine präzise Bewegung von Wafern durch diese Prozessschritte. Es ist eine führende Option für ein breites Spektrum an Wafer-Handling-Anwendungen, von der Großserienproduktion bis zur Forschung und Entwicklung.