Gebraucht BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 #9015227 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 ist eine Wafer-Handling-Ausrüstung, die eine zuverlässige Wafer-Übertragung und Produktion für Hersteller, Halbleiterbauelementehersteller und Forschungs- und Entwicklungslabors ermöglicht. Das System besteht aus einem Wafer-Handler auf Förderbasis, einem Wafer-Shuttle und einem zweiachsigen Roboterarm für eine präzise, wiederholbare Wafer-Handhabung. Die Fördereinheit ist mit einer Vision-basierten Zentriermaschine ausgelegt, die in der Lage ist, einen oder mehrere Wafer mit bis zu 300 mm pro Sekunde zu lokalisieren, zu verfolgen und zu positionieren und dabei eine hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu gewährleisten. Das Wafer Shuttle verwendet ein proprietäres, ultra-low-profile Design, das ein effizientes Be- und Entladen mehrerer Waferkassetten bei maximalen Durchsatzraten ermöglicht. Der zweiachsige Roboterarm ist für eine präzise und wiederholbare Aufnahme und Platzierung von Wafern ausgelegt. DBM 2406-V2 Wafer Handler kann mit mehreren Wafergrößen arbeiten und ist in der Lage, jeden Wafer innerhalb von 15 µm von seinem Mittelpunkt zu messen und seine Geschwindigkeit entsprechend anzupassen. Es wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Handhabung von bis zu 600mm oder bis zu 300mm im Montagebetrieb zu erhalten. Darüber hinaus ist der Wafer-Handler in der Lage, verschiedene Arten von Wafern, wie Silizium, Leuchtdioden (LEDs) und Glas gleichzeitig zu handhaben, ohne auf Leistung zu verzichten. BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 Wafer Handler ist ideal für jede Halbleiterherstellungsanlage, die präzise, wiederholbare Wafer mit zuverlässigen Produktionsraten ausgeben muss. Der werkzeugbasierte Wafer-Handler, der Wafer-Shuttle und der zweiachsige Roboterarm des Werkzeugs sind so konzipiert, dass sie den höchstmöglichen Durchsatz und die Genauigkeit bieten und gleichzeitig niedrige Betriebskosten erhalten. Darüber hinaus ist das Wafer Handling-Gerät mit Sicherheitsmerkmalen wie einem Not-Aus-Knopf und einem Interlock-Modell ausgelegt, um eine höchstmögliche Sicherheit sowohl für die Wafer als auch für das Personal, das die Ausrüstung bedient, zu gewährleisten.
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