Gebraucht BROOKS AUTOMATION E40001182 and E19013780 #57120 zu verkaufen

ID: 57120
Wafergröße: 12"
Lot of 2 fixloads For the VARIAN VIISion / VIISta systems Fixload 25/V5, 12" Brooks Fixload V6 Loadport, 12" Crated.
BROOKS AUTOMATION E40001182 EChanger und der E19013780 EChanger sind zwei Wafer-Handler, die speziell für die Verarbeitung von Halbleitern und optoelektronischen Bauelementen entwickelt wurden. Diese Hochleistungsmaschinen bieten automatisches Wafer-Handling, thermisches Management und Inspektionsmöglichkeiten für maximalen Durchsatz und verbesserte Geräteausbeuten. Der EChanger ist so konzipiert, dass er einen Wafer von seinem Lagerort zur Bearbeitungsstation verschiebt. Zu den Hauptkomponenten der Maschine gehören ein Hauptrahmen, ein Servomotor, eine Antriebseinheit und Shuttles. Der Hauptrahmen besteht aus zwei Hauptträgern und einem zentralen Rahmen, in dem der Servomotor, die Antriebseinheit und andere Komponenten untergebracht sind. Die Servomotoren sind für die Ausrichtung, Verschiebung und Rotation der Shuttles und der zugehörigen Werkzeuge verantwortlich. Die Antriebseinheit besteht aus einem Motor, einem Getriebe und einer Steuerung, die für die Synchronisation, Taktung und Steuerung der Ausrüstung verantwortlich ist. Der EChanger kann eine Vielzahl von Wafergrößen und Gewichten durch eine Reihe von Bewegungsmustern transportieren. Die Maschine verwendet Präzisionsbewegungs-Scribing, thermische Energie-Profiler und Scan-Feldanpassung, um eine genaue Wafer-Handhabung zu gewährleisten. Die Maschine wurde entwickelt, um die Flachheit des Wafers zu erhalten, Kassetten von bis zu 200 + Wafern zu behandeln und ein Echtzeit-Thermomanagement während der Verarbeitung zu gewährleisten. Der EChanger ist mit Sicherheitsmerkmalen für eine sichere Arbeitsumgebung aufgebaut. Es verfügt über ein Sicherheitsverriegelungssystem zum Schutz vor versehentlicher Betätigung der Shuttles und ist auch mit Not-Aus-Tasten bei einem Not- oder Benutzerfehler ausgestattet. Es hat auch einen Notschalter, um das Gerät im Notfall abzuschalten. Der EChanger verfügt zudem über Staub- und Feuchtigkeitsschutz, um eine saubere Betriebsumgebung zu gewährleisten. Zusätzlich zu den Wafer-Übergabefunktionen des EChanger ist der E19013780 EChanger mit einer Inspektionsstation ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, den Wafer zu betrachten und den Zustand des Geräts zu überprüfen. Dazu gehören eine hochpräzise CCD-Kamera, eine Bordbeleuchtungsmaschine und drei fortschrittliche Bildverarbeitungstechnologien: Ultra Clear, Contrast Protection und Dual Image Trace. Diese Eigenschaften bieten eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine genaue Ertragsanalyse und Gerätecharakterisierung. BROOKS AUTOMATION EChanger 's bietet eine zuverlässige und effiziente Wafer-Handling-Lösung. Dank seiner Eigenschaften wie Servomotoren, Antriebseinheit und Präzisionsbewegungs-Scribing-Technologie ermöglicht er einen maximalen Durchsatz und eine präzise Ausrichtung des Wafers. Es ist auch mit anderen Funktionen ausgestattet, einschließlich einer Inspektionsstation und Echtzeit-Thermomanagement-Fähigkeiten, die es ideal für die Verarbeitung von Halbleitern und optoelektronischen Bauelementen machen.
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