Gebraucht BROOKS AUTOMATİON EFEM #9358219 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATİON EFEM ist ein leistungsstarker Wafer-Handler, der zum präzisen und schnellen Bewegen und Handhaben empfindlicher Wafer und Komponenten in einer Vielzahl von Werkstechnik- und Materialhandhabungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist eine vielseitige Maschine mit hohem Durchsatz, mit der Wafer kontrolliert und sicher zwischen verschiedenen Prozessen bewegt werden können. Der Brooks EFEM Wafer Handler ist eine modulare automatisierte Ausrüstung, bestehend aus Servomotoren, Bewegungsreglern, Roboterarmen, manuellen Transferwagen oder einer Kombination davon zur Steuerung der Waferbewegung. Der Roboterarm ist die Schlüsselkomponente des Systems und so konfiguriert, dass er mit spezifischen Anwendungsanforderungen arbeitet. Diese flexible Einheit ermöglicht eine Vielzahl von Wafer-Handhabungskonfigurationen, die eine Vielzahl von Anwendungen abdecken, einschließlich Präzisions-Wafer-Handhabung und -Übertragung, Montagevorgänge, Maschinenbearbeitung und Halbleiterherstellung. Der Roboterarm ist für Wafer bis zu einem Durchmesser von 450mm ausgelegt. Es ist mit einem Radialaktor ausgestattet, der die Winkelausrichtung des Wafers relativ zum Arm und der EFEM-Basis von BROOKS AUTOMATİON genau steuert. Diese Konstruktion ermöglicht hochpräzise Winkel, die bei der Bewegung und Handhabung von Wafern zwischen verschiedenen Spezialprozessen konsistent sind. Der Roboterarm verfügt zudem über eine integrierte Wafer-Spannmaschine und für eine optimierte Leistung über einen „Start-Stopp“ -Betrieb, mit dem der Roboterarm gestoppt werden kann und sein Zustandsspeicher den Wafer entsprechend den anwendungstechnischen Erfordernissen exakt positioniert. Der Roboter ist mit einer Kamera zur Sichtführung und präzisen Waferausrichtung kombiniert. Der Brooks EFEM ist in der Lage, Wafer bis zu einer Geschwindigkeit von 300mm/s exakt zwischen Prozessen zu übertragen. Es hat auch einen Standard-Befehlssatz, um den Betrieb des Roboters und/oder dessen Zubehör zu steuern. Seine hohe Präzision und Geschwindigkeit reduzieren die Bearbeitungszeit des Wafers und sein intuitives Steuerprogramm sorgt für Genauigkeit. Der Brooks BROOKS AUTOMATİON EFEM ist heute aufgrund seiner Hochleistungskomponenten und seiner qualitativ hochwertigen Konstruktion eines der zuverlässigsten Wafer-Handling-Systeme auf dem Markt. Abschließend ist EFEM ein effektiver Wafer-Handler, der für das präzise und schnelle Bewegen und Handhaben empfindlicher Wafer und Komponenten in einer Vielzahl von Werkstattautomatisierungs- und Materialhandlinganwendungen konzipiert ist. Seine modulare Bauweise und Flexibilität macht es viel förderlicher für Anwendungen mit hochpräzisen Winkeln und Bewegungen. Es ist auch eines der zuverlässigsten Wafer-Handling-Systeme auf dem Markt heute durch seine Hochleistungskomponenten und Konstruktion. Es ist ein ideales Werkzeug, um die Anforderungen der meisten automatisierten Werksumgebungen zu erfüllen.