Gebraucht BROOKS AUTOMATION FabExpress #293798433 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION FabExpress Wafer Handler ist ein automatisiertes Transfermodul, das speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es wird verwendet, um Wafer zwischen Bearbeitungsgeräten wie Lithographiewerkzeugen, CVD-Werkzeugen, Ätzern und nassen Bänken während des Halbleiterherstellungsprozesses zu bewegen. Der Wafer-Handler ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser mit einer Geschwindigkeit von bis zu 12 Wafern pro Stunde zu übertragen. Es kann unter Druck oder Vakuum betrieben werden, um eine enge Prozesskontrolle über das Wafer-Handling aufrechtzuerhalten. FabExpress verfügt über ein hochpräzises Wafer-Würfelmodul, das eine zuverlässige Leistung für das Wafer-Handling bietet. Das Würfelmodul ermöglicht präzise Feineinstellungen, die eine präzise Übertragung von Wafern ermöglichen. Dieses Modul verfügt außerdem über eine Hochgeschwindigkeitskameraausrüstung und ein integriertes Lasererkennungssystem, um die Genauigkeit des Würfelprozesses sicherzustellen. Es ist eine programmierbare Sichteinheit vorgesehen, die den Aufbau und die Bedienung des Wafer-Handlers vereinfacht. BROOKS AUTOMATION FabExpress Wafer Handler verwendet eine Kombination aus Servomotor und pneumatischen Aktuatoren, um Wafer schnell und präzise zwischen Verarbeitungsgeräten zu übertragen. Es enthält auch eine Bewegungssteuereinheit mit programmierbaren Logiksteuerungen (SPS) zur präzisen Bewegungssteuerung. Die Bewegungssteuerung kann verwendet werden, um mehrere Prozesse zu synchronisieren, um einen effizienten Betrieb zu ermöglichen. Dieser Wafer-Handler ist mit präzisen optischen mechanischen Systemen ausgestattet, um genaue, nicht überlappende Übertragungen der Wafer zu gewährleisten. Es verfügt über eine integrierte Vakuumkammer, die die Wafer in der Kammer präzise manipulieren kann. Diese Vakuumkammer ist mit einem integrierten Roboterarm für präzise Handhabung und Wiederholbarkeit ausgelegt. Der Wafer-Handler kommt mit einer automatisierten Vision-Maschine für die Wafer-Inspektion, die die meisten automatisierten Wafer-Handling-Maschinen auf dem Markt übertrifft. Es verfügt über eine breite Palette von verfügbaren Inspektionsmöglichkeiten, einschließlich In-situ-Vision-Inspektion, die es dem Bediener ermöglicht, die Waferqualität zu bestätigen, ohne sie vom Werkzeug entfernen zu müssen. FabExpress ist ein sehr zuverlässiger Wafer-Handler, der eine ausgezeichnete Handhabungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie Sensoren und Verriegelungen für maximale Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit. Dieser Wafer-Handler ist für den 24/7-Betrieb mit minimalen Ausfallzeiten ausgelegt. Es wird auch mit Service-, Wartungs- und Teilepaketen geliefert, um eine optimale Leistung bei minimaler Unterbrechung zu gewährleisten.