Gebraucht BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626364 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION Fixload 6 ist ein leistungsstarker, vollautomatischer Wafer-Handler für die Halbleiterherstellung. Fixload 6 kann Wafer im Durchmesser von 100 mm bis 300 mm handhaben und besteht aus einer Hauptsteuereinheit und angetriebenen Karussells für die Platzierung und Übertragung von Wafern. Es enthält eine fortschrittliche, Multi-Pass-Sicherheitsausrüstung mit Dual-Lock-Sicherheitstüren, Passwortschutz und integrierte Sensoren zum Überwachen und Schützen der Wafer, die behandelt werden. Darüber hinaus ist das System mit einem Wafer Transport Module (WTM) ausgestattet, das den Wafer zu seiner Zielstation führt, während die Intelliflow (TM) adaptive Echtzeit-Steuerungstechnologie Waferpfade kontinuierlich anpasst und korrigiert, um den Durchsatz und die Effizienz zu maximieren und festzustellen, wann das Gerät angehalten werden muss. Das robuste BROOKS AUTOMATION Fixload 6 verfügt auch über vollständige Rückverfolgbarkeitsfunktionen, einschließlich Echtzeit-Rezeptmanagement, Protokollgenauigkeit und Wafer Centric Tracking (TM), die den gesamten Lebenszyklus des Wafers von Anfang bis Ende verfolgen. Mit Ausnahme-Reporting können Betreiber Probleme schnell erkennen und Korrekturmaßnahmen empfehlen. Angetrieben wird die Maschine von einem Hochgeschwindigkeits-Controller, der auf einem FPGA läuft, und einem hochgenauen, ultrapräzisen, dreiachsigen Piezoaktor für präzise und konstante Platzierung von Wafern. Fixload 6 umfasst eine Vielzahl von Sicherheits- und Alarmfunktionen, einschließlich Interlock-Schalter, Fehlererkennung und -berichterstattung und Not-Aus-Logik. BROOKS AUTOMATION FIXLOAD 6 nutzt eine 3- oder 4-stufige Waferübertragung und eine hochgetriebene, drehmomentarme Übertragungsdorne, um den Waferdurchsatz zu erhöhen und gleichzeitig hohe Präzision und Genauigkeit zu bieten. Es ermöglicht auch eine schnelle und einfache Einrichtung und Wartung durch seine benutzerfreundliche Oberfläche und hohe Automatisierung. Das Endergebnis ist eine schnelle, zuverlässige und präzise Handhabung von Wafern mit den bestmöglichen Ausbeuten.