Gebraucht BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293800213 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M ist ein fortschrittlicher roboterbasierter Single-Wafer-Handler, der einen zuverlässigen, effizienten Wafer-Transfer zwischen Prozesswerkzeugen ermöglicht. Es ist eine ideale Lösung für die Handhabung und Übertragung aller Wafertypen zwischen verschiedenen Waferbearbeitungsprozessen wie Ätzen, Lithographie und Abscheidung. Fixload 6M ist vollautomatisiert und arbeitet mit mehreren Prozesswerkzeugen zusammen. Es kann eine breite Palette von Substratgrößen handhaben, die von zwei Zoll bis 12 Zoll im Durchmesser reichen. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M verwendet einen zweiarmigen Robotermechanismus mit einem End-Effektor, um Wafer in einer vakuumumgeschlossenen Wafer-Pickup-Umgebung zu übertragen. Es verfügt auch über einen eloxierten Aluminiumrahmen für eine überlegene thermische und Vibrationsstabilität, die Stoß- und Vibrationseffekte reduziert, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Der Hauptmotorantrieb des Roboters wird von einem Servoregler angetrieben, wodurch der Roboter die Bewegung und Drehung des Roboterarms genau steuern kann. Fixload 6M ist mit einer auflösungsgesteuerten Sichtausrüstung ausgestattet, die es ermöglicht, Objekte präzise zu lokalisieren und zu zielen. Das Vision-System wurde optimiert, um Fehllaststatistiken zu minimieren und Fehlbelastungen schnell neu zu zielen. Es ermöglicht auch die Wafersortierung, um Kontaminationen zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt das Gerät über autodiskrete Punkt- und Linienabtasttechnologien, die Pinholes, Oberflächenunvollkommenheiten und Partikelverunreinigungen auf der Oberfläche des Wafers erkennen. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M bietet überlegene Durchsatzgeschwindigkeit und Genauigkeit, ohne auf Qualitätskontrolle zu verzichten. Die automatischen Reinigungsfunktionen und das Bordenergiemanagement sorgen für den Transfer von hochwertigen sauberen Wafern. Die umfassende Datenerfassungs- und Meldemaschine protokolliert wichtige Messungen, um die Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten, die bei der Prozessfehlerbehebung hilft. Darüber hinaus bietet Fixload 6M verschiedene benutzerfreundliche Funktionen wie klare Teil-Tracking und Echtzeit-Alarmierung für Verbrauchsmaterialien wie Gasflaschen und Partikelfallen. Die Software ermöglicht es Benutzern, Änderungen schnell zu programmieren, Rezepte einzurichten und anpassbare Werksberichte zu entwickeln. Das Servicecenter bietet Reparaturen und Wartungsdienstleistungen an, um sicherzustellen, dass BROOKS AUTOMATION Fixload 6M wie erwartet funktioniert. Insgesamt ist Fixload 6M ein fortschrittlicher, zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler, der optimiert ist, um konsistente Leistung mit geringen Fehllaststatistiken und ausgezeichnetem Durchsatz und Qualität zu bieten. Seine robusten Eigenschaften und sein Design machen BROOKS AUTOMATION Fixload 6M zu einer erstklassigen Lösung für die Halbleiterindustrie.