Gebraucht BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634036 zu verkaufen

ID: 293634036
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Load port, 12" 2003 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload V6 ist ein Wafer-Handler, der das Be- und Entladen von Wafern in Batch-Halbleiterherstellungsprozessen automatisiert. Es ermöglicht ein effizientes und halbautomatisches Be- und Entladen von Wafern in einem einzigen Prozess. Dies ermöglicht die Bearbeitung einer großen Anzahl von Wafern in einem einzigen Lauf und verkürzt die Prozesszeit. Fixload V6 verwendet eine flexible Pod-Ausrüstung, die eine Vielzahl von Wafergrößen aufnehmen kann, darunter 6-Zoll und 8-Zoll runde Wafer. Das flexible Pod-System ist kompatibel mit anderen Systemen, wie Wafer-Handhabungssystemen, und ist leicht konfigurierbar, so dass bestimmte Wafergrößen gehandhabt werden können. Das Gerät verwendet eine integrierte Vakuum-Wafer-Transfermaschine, um Wafer in und aus Verarbeitungsplattformen und Positionier- und Orientierungssysteme zu übertragen, um Wafer für die Verarbeitung genau auszurichten. Darüber hinaus kann das Werkzeug konfiguriert werden, um Fehlstellungen automatisch zu erkennen und den Vorgang abzubrechen, wodurch Schäden an den Wafern und Bearbeitungsgeräten vermieden werden. BROOKS AUTOMATION Fixload V6 verfügt über eine hocheffiziente Prozesssteuerung mit einer voll ausgestatteten grafischen Oberfläche, um einen reibungslosen und sicheren Betrieb aller Waferprozesse zu gewährleisten. Der Controller kann zur Steuerung mehrerer Waferbearbeitungsaufgaben wie Waferkühlung, Backen und Oxidation sowie zur Überwachung von Prozessvariablen verwendet werden. Das Asset kann auch konfiguriert werden, um Prozessparameter basierend auf den Ergebnissen der Messungen während der Verarbeitung automatisch anzupassen. Damit sollen die Verarbeitungsbedingungen optimiert und Schäden an den Wafern aufgrund nicht optimaler Bedingungen vermieden werden. Fixload V6 hat ein sicheres Design, um das Modell und die Wafer vor Verschmutzung und anderen Umweltfaktoren zu schützen. Es verfügt über eine sichere Zugangsausrüstung und ein integriertes Interlock-System, um versehentliche Störungen der Einheit zu verhindern. Darüber hinaus umfasst BROOKS AUTOMATION Fixload V6 Rückverfolgbarkeitssysteme zur Überwachung und Aufzeichnung aller Prozessereignisse und zur Erkennung von Fehlern. Dies soll eine einfachere Fehlersuche und Fehlerbehebung des Computers ermöglichen, falls Probleme auftreten. Fixload V6 ist ein benutzerfreundliches und zuverlässiges Wafer-Handler-Tool. Es wurde entwickelt, um die Effizienz und Produktivität der Waferbearbeitung in Halbleiterherstellungsprozessen zu verbessern.
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