Gebraucht BROOKS AUTOMATION Guardian #9018585 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION Guardian
ID: 9018585
Reticle indexer, Asyst, INXR150 Integrated SMIF port and cassette indexer Designed to mount directly to process tool.
BROOKS AUTOMATION Guardian ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler für den Einsatz in empfindlichen Halbleitereinrichtungen. Es ist für die Handhabung und Lagerung von bis zu sechs Standard 25mm oder 50mm Wafern mit Einsatzdurchmessern von 300 oder 460mm ausgelegt. Guardian wurde entwickelt, um einen maximalen Schutz der empfindlichen Wafer zu bieten und gleichzeitig den Durchsatz zu erhöhen. BROOKS AUTOMATION Guardian enthält eine Vielzahl von Funktionen, die die Integrität der Wafer schützen. Die Wafer sind umweltfreundlich abgedichtet, um Staubverunreinigungen zu verhindern, und eine Vielzahl von Sensoren erkennen Änderungen in der Wafer-Position oder Temperatur, Warnung Betreiber auf mögliche Gefahr. Erhöhte Isolation von der äußeren Umgebung helfen, elektrostatische Ladung zu reduzieren. Eine externe Stromversorgung verhindert ferner mögliche Überspannungen, die Komponenten beschädigen könnten. Die Flexibilität der Ausrüstung ermöglicht sowohl den automatischen als auch den manuellen Betrieb des Handlers. Es ist mit einer halbautomatischen rezeptbasierten Plattform ausgestattet, die den Waferaustausch und die Lieferung vereinfacht. Guardian hat die Fähigkeit, verschiedene Wafergrößen und Prozesstemperaturen aufzunehmen, so dass eine Vielzahl von Prozessen ausgeführt werden können. In Bezug auf die Leistung wird BROOKS AUTOMATION Guardian von einem schnellen, präzisen Bewegungssteuerungssystem angetrieben, das Bewegungsgeschwindigkeiten von bis zu 24 Achsen pro Sekunde bietet, die Wafer-Laufzeiten reduziert und den Durchsatz erhöht. Das Steuergerät ist mit fortschrittlichen Bildkamera- und Scansystemen verbunden, die die Messung von Wafer-Topografien ermöglichen, wodurch die korrekte Verarbeitung einzelner Wafer überprüft wird. Insgesamt ist Guardian eine ideale Wahl für Kunden, die nach einem neuen Wafer-Handler suchen, der mit empfindlichen Wafern umgehen und eine Vielzahl von Branchen bedienen kann. Dieser Wafer-Handler bietet zuverlässigen Schutz und verbesserte Geschwindigkeiten für die Auslieferung und den Austausch von Wafern sowie die Flexibilität, mit verschiedenen Wafergrößen und Prozesstemperaturen zu arbeiten. Die fortschrittliche Bewegungssteuerungsmaschine sowie Kamera- und Scansysteme sorgen für eine sichere Wafer-Handhabung und Verifizierung der Verarbeitung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor