Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK 450 Vision #293624681 zu verkaufen
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ID: 293624681
Wafer loadport, 18"
Part number: 176334-03
BROOKS LF60 Solid RFID module
Power supply: 110-240 V, 50-60 Hz, 4 A.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 450 Vision ist ein anspruchsvoller Wafer-Handler für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Der Wafer-Handler verfügt über einen pneumatisch angetriebenen Roboterarm, der mit einer eingebetteten Sichtausrüstung ausgestattet ist und in der Lage ist, Objekte genau zu identifizieren, zu lokalisieren und zu manipulieren. Dies macht es ideal für die Handhabung von Wafern und anderen Substraten, da es die Notwendigkeit einer manuellen Ausrichtung und Manipulation entfällt, was zu einem höheren Durchsatz und einem zuverlässigeren Betrieb führt. JENOPTIK 450 Vision ist mit einem präzisen linearen Ausrichtsystem ausgestattet, das optische Encoder und eine Kombination aus statischen und dynamischen Ausrichtungssensoren verwendet. Dies gewährleistet eine präzise Positionierung und Bewegungssteuerung des Wafers während des Handhabungsprozesses. Der Roboterarm wird durch eine leistungsstarke pneumatische Antriebseinheit angetrieben, mit flexiblen Optionen für Beschleunigung, Geschwindigkeit und Kraftregelung. Der Roboterarm kann bis zu einer maximalen Geschwindigkeit von 200 mm/s erreichen, was zur Erhöhung des Durchsatzes beiträgt. Die Maschine ist auch mit einem Vision-Tool ausgestattet, um die Position des Wafers genau zu identifizieren. Dies kann sowohl für Ausrichtungs-, Mess- und Größenprozesse als auch für die Auswahl von Objekten aus einer vordefinierten Liste verwendet werden. Das Vision-Asset kann so konfiguriert werden, dass es synchron mit dem Roboterarm arbeitet und eine schnelle und genaue Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus ist BROOKS AUTOMATION 450 Vision mit einer Vielzahl von Feedback-Sensoren konzipiert. Diese Rückkopplungssensoren bieten eine genaue und konsistente Sichtbarkeit der Position des Wafers und ermöglichen präzisere Anpassungen während des Handhabungsprozesses. Dies gewährleistet eine gleichbleibend hochwertige Leistung auch bei komplexen Entstehungsprozessen. 450 Vision ist einfach in andere Automatisierungssysteme integriert und kann an spezifische Kundenanforderungen angepasst werden. Die integrierten Sicherheitsmerkmale des Modells, wie eingebaute Sicherheitsschalter und Laserfuß-Sensoren, bieten zusätzliche Sicherheit, dass der Betrieb sicher und sicher ist. Darüber hinaus tragen seine energieeffizienten und reinraumkompatiblen Komponenten zur Unterstützung einer nachhaltigen Fertigung bei. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 450 Vision eine ideale Lösung für effizientes und präzises Wafer-Handling. Seine Genauigkeit, seine anspruchsvolle Embedded Vision Ausrüstung und seine integrierten Sicherheitsmerkmale machen es zu einer geeigneten Wahl für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen.
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