Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #293806330 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ist ein vielseitiger, autonomer Single-Wafer-Handler für die Hochdurchsatzverarbeitung von Geräte-, Test- und Fertigungswaferdurchmessern bis einschließlich 200mm mit maximal 280mm Durchmesserüberhang. Durch die Repositioniergenauigkeit des Ergospeed können Wafer auf dieselben Markierungen platziert und für Genauigkeit innerhalb von ± 500 Mikrometern zertifiziert werden, mit Präzision unter ± 50 Mikrometern und Wiederholbarkeit bis zu 150 Mikrometer. Dies ermöglicht die einfache und wiederholbare Platzierung der Matrize auf und ab dem Wafer, die für verschiedene Anwendungen angepasst werden kann. Darüber hinaus ermöglicht die Flexibilität von JENOPTIK Ergospeed II die Integration in eine Vielzahl von Werkzeugen und Prozessen und kann bis zu drei Werkzeuge gleichzeitig handhaben. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II ist ein sehr zuverlässiger Wafer-Handler, der folgende Funktionen bietet: Prozessgeschwindigkeit von 36 Wafern pro Stunde mit 300mm Wafern und 100 Wafern pro Stunde mit 200mm Wafern Fähigkeit, Wafer bis zu 11 "zu handhaben (280mm) im Durchmesser Patentierte beheizte Spannfutter-Technologie, Innentemperatur einstellbar bis 70 Grad Celsius Temperaturgenauigkeit von ± 2 Grad Celsius Hochgeschwindigkeits-elektrostatisches Spannfutter, das mit bis zu 12 Newton Kraft parallel klemmen kann Die Möglichkeit eines manuellen Oberflächenreinigungssystems einschließlich Flachscheiben, Durchgangslochscheiben und Wafersubstraten aus verschiedenen Materialien Ergospeed II ist auch mit automatischen Prozessüberwachungs- und Optimierungsfunktionen ausgestattet. Die maximale Positionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit dieses Wafer-Handlers in Kombination mit seiner automatischen Prozessüberwachung und -optimierung macht ihn für eine Vielzahl von Chip-Fertigungs-, Test- und Paketmontageanwendungen geeignet. Darüber hinaus sorgt der geringe Wartungsaufwand, einschließlich des Verzichts auf Nachkalibrierung oder Spezialwerkzeuge, dafür, dass die Anwender dieses Wafer-Handlers optimale wiederholbare Ergebnisse, schnellere Bearbeitungszeiten und verbesserte Ausbeute erzielen. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ein äußerst zuverlässiger und vielseitiger Wafer-Handler, der sich gut in eine Vielzahl von Anwendungen integrieren lässt. Mit seiner hohen Geschwindigkeit und Genauigkeit, seinen einstellbaren Temperaturen, dem zuverlässigen Oberflächenreinigungssystem und seiner kalibrierungsfreien Leistung erhalten Anwender eine großartige Lösung, die die Prozessgeschwindigkeit und die Ausbeute deutlich erhöhen kann.