Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9134142 zu verkaufen
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ID: 9134142
Weinlese: 2000
Systems
LPTSM/R (right)
Includes:
SLR 200 LPTSM/L and R
2000 vintage.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II Wafer Handler ist eine besonders effiziente Front-End automatisierte Wafer-Handling-Ausrüstung. Dieses High-End-Werkzeug, das für die Übertragung von Wafern in und aus einzelnen Workflows ausgelegt ist, spielt eine Schlüsselrolle bei der effizienten Halbleiterherstellung. JENOPTIK Ergospeed II integriert mehrere Merkmale und Fähigkeiten, um es zu einer idealen Lösung für die heutigen schnelllebigen Halbleiterprozesse zu machen. Das System bietet eine flexible und robuste Architektur, die ein breites Anwendungsspektrum ermöglicht. Zunächst ist das Gerät mit einer Primär-Shuttle-Baugruppe ausgestattet, die bis zu fünfzehn Wafer gleichzeitig handhaben kann und somit die Durchsatzgeschwindigkeit erhöht. Gleichzeitig ist eine Sekundär-Shuttle-Maschine installiert, die in der Lage ist, Wafer automatisch von einer Tasche auf eine andere zu übertragen. Ein weiteres Hauptmerkmal des Werkzeugs ist seine intelligente Bewegungssteuerung. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Wafer für eine optimale Bearbeitung genau im Einsatzbereich positioniert werden. Dies ist besonders nützlich für Prozesse, die mehrere Waferbahnen erfordern. Das Motion Control Asset wird auch von einzigartigen Vision-Tracking-Systemen unterstützt, die helfen, eine genaue Platzierung des Wafers auf der Arbeitsfläche zu gewährleisten. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II integriert auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Es enthält ein Dual-Wall-Sicherheitsmodell, zusammen mit mehreren anderen zusätzlichen Sicherheitseinrichtungen. Dies trägt dazu bei, dass keine potenziellen Gefahren auftreten, die sowohl die Wafer als auch die wertvolle Prozessausrüstung beschädigen könnten. Ergospeed II ist eine attraktive Lösung für jede Halbleiterfabrik, die nach einem zuverlässigen und effizienten Wafer-Handling sucht. Es bietet hohe Durchsatzraten, eine robuste Konstruktion und eine langfristige Qualitätssicherung. Darüber hinaus ist das System einfach in andere Prozesse und Werkzeuge integriert, was bedeutet, dass es leicht zu einem Schlüsselbaustein in den heutigen Halbleiterfertigungslinien werden kann.
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