Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280737 zu verkaufen

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
Verkauft
ID: 9280737
SMIF Loading system SLR 200 LPTSM/L.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ist ein Hochgeschwindigkeits-Wafer-Handler zur Automatisierung von Waferbearbeitungsanwendungen. Es ist kompatibel mit branchenüblichen Wafergrößen von 100 mm bis 300 mm Durchmesser und ermöglicht ein breites Anwendungsspektrum. JENOPTIK Ergospeed II nutzt fortschrittliche Motorentechnologie, um ein präzises und konsistentes Wafer-Handling zu gewährleisten, was zu einer minimierten Verarbeitungszeit und verbesserten Erträgen führt. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II wurde speziell für die Anforderungen von Wafer-Be- und Entladesystemen entwickelt. Der Ladeanschluss ist zur Unterstützung des einseitigen Waferbeladens sowie zum doppelseitigen Be- oder Entladen von Wafern ausgelegt. Es zeigt auch eine breite Reihe von Visionsschaufähigkeiten im Prozess, wie infrarote und ultraviolette Bildaufbereitung, sowie Gegenstandanerkennung. Darüber hinaus können automatisierte Ausrichtungs- und Ausrichtungskorrekturen mit den Onboard-Vision-Geräten erreicht werden. Ergospeed II verfügt über ein integriertes Waferorientierungssystem, das eine genaue Platzierung von Wafern in der Einheit ermöglicht. Die Maschine nutzt zwei senkrechte Kamerasysteme, um ein 360-Grad-Bild des Wafers zu erzeugen, was eine Wafererkennung und weitere Waferbearbeitung ermöglicht. Zusätzlich ermöglicht ein Waferausrichtwerkzeug eine genaue Montage des Wafers in die Bearbeitungskammer. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ist mit integrierten Hochleistungsantriebsmotoren ausgestattet und bietet präzise Bewegungssteuerung und Flexibilität. Die Anlage ist für den Hochgeschwindigkeitsbetrieb konzipiert und bietet ein schnelles und konsistentes Wafer-Handling mit einer maximalen Geschwindigkeit von bis zu 200 mm/s. Das hochauflösende, dynamische Antriebsmodell sorgt auch für eine reibungslose Bewegung beim Steuern von Jitter und Vibrationen. In Sachen Sicherheit umfasst JENOPTIK Ergospeed II eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um Waferbediener vor unbeabsichtigtem Kontakt mit der Maschine zu schützen. Diese Merkmale umfassen eine Verriegelungseinrichtung während des Gerätebetriebs sowie eine Sicherheitsabdeckung zum Schutz vor unbeabsichtigtem Kontakt. Zusätzlich ist ein Not-Aus-System enthalten. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION Ergospeed II ein hochentwickelter Wafer-Handler zur Automatisierung von Waferbearbeitungsanwendungen. Die ausgeklügelte Motorentechnik sorgt für ein präzises und konsistentes Wafer-Handling mit einer Höchstgeschwindigkeit von bis zu 200 mm/s. Die integrierten Sicherheitsmerkmale gewährleisten zudem den Schutz der Waferbediener. Mit seinen umfangreichen Funktionen ist das Gerät eine ideale Wahl für die Hochgeschwindigkeits-Waferbearbeitung.
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