Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280738 zu verkaufen

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
Verkauft
ID: 9280738
SMIF Loading system SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ist ein automatisierter Wafer-Handler, der in der Halbleiterwaferbearbeitung verwendet wird. Das System soll das Be- und Entladen und den Transport von Wafern zwischen verschiedenen Halbleiterwaferbearbeitungswerkzeugen erleichtern. JENOPTIK Ergospeed II wurde entwickelt, um den Eingriff des Bedieners zu minimieren, wodurch ein Großteil der manuellen Arbeit in früheren Wafer-Handling-Systemen entfällt. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II verwendet einen proprietären Stellantrieb, der zusammen mit einer computergesteuerten Waferstufe arbeitet. Diese Kombination ermöglicht es dem Handler, Wafer genau und präzise zu bewegen, ohne externe Störungen. Ergospeed II kann mit verschiedenen Arten von Wafer-Bearbeitungswerkzeugen, einschließlich Sortierer, Sägen, Schleifer, Polierer, Spin Coater und Photodetektoren, interagieren. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II verfügt über ein Wafermagazin und eine Aufbewahrungsschale, die es dem Handler ermöglicht, gleichzeitig Lade-, Entlade- und Wafer-Transport-Operationen durchzuführen. Es ist auch mit einem Wafer-Ausrichtmechanismus ausgestattet, der ein Laser-Bildgebungssystem verwendet, um sicherzustellen, dass Wafer richtig positioniert wurden, wodurch ein Kontakt zwischen der Waferoberfläche und den internen Komponenten des Handlers verhindert wird. JENOPTIK Ergospeed II kann bis zu 200 Wafer in einem Arbeitsgang verarbeiten, wodurch die Bearbeitungszeit weiter reduziert wird. Es ist auch in der Lage, unter beengten Arbeitsräumen zu arbeiten, so dass es auch für Labore mit begrenzter Bodenfläche geeignet ist. Darüber hinaus senkt der modulare Aufbau die mit Wartung und Reparatur verbundenen Kosten, sodass Benutzer schnell auf bestimmte Teile des Handlers zugreifen und diese ersetzen können, während andere Komponenten unangetastet bleiben. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION Ergospeed II ein fein entwickelter automatisierter Wafer-Handler, der präzise Bewegungen und zuverlässigen Betrieb liefert. Dieses System reduziert die Bearbeitungszeit, verbessert die Sicherheit und eignet sich ideal für Labore mit begrenzter Bodenfläche und Ressourcen.
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