Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280740 zu verkaufen

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
Verkauft
ID: 9280740
SMIF Loading system SLR 200 LPTM/L.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ist ein effizienter und zuverlässiger Wafer-Handler für die Halbleiterproduktion. Es ist für Produktionslinien mit Wafern von 8 bis 300 mm Durchmesser ausgelegt. Sein automatisierter Handhabungsprozess ermöglicht eine genaue und konsistente Übertragung von Wafern zwischen Prozessschritten in einer Halbleiterproduktionsumgebung. JENOPTIK Ergospeed II verwendet einen zweiachsigen Roboterarm mit einem Gelenkarm-Design, der Wafer effizient zwischen ihren ursprünglichen Standorten und Roboterbearbeitungs- oder Lagerstationen transportiert. Der Arm kann einen einzelnen Wafer bis zu 8 kg (17,6 lbs) oder mehrere Wafer bis zu 30 kg (66 lbs) handhaben. Die Waferbewegung wird mit dem Rest der Produktionslinie mit programmierbaren Logikreglern gesteuert und synchronisiert. Die Bewegung des Armes kann so eingestellt werden, dass er genau auf den Wafer passt und ihn vor Beschädigungen schützt. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II verfügt über eine automatisierte Vorausrichtung mit einer Bildaufnahmekamera, um den Wafer in dem genauen Winkel, der Drehung und der gewünschten Position zu positionieren. Dieses automatisierte System eliminiert die manuelle Ausrichtung und reduziert das Risiko menschlicher Fehler. Die Wafergröße wird automatisch erkannt und durch den automatisierten Ausrichtvorgang entsprechend angepasst. Bei der Übertragung von Wafern zwischen Stationen wird der Arm so nah wie möglich an der Übergabestation gehalten, wodurch die Gefahr einer Waferkontamination verringert wird. Der Wafer wird auch auf beiden Seiten fest ergriffen, um eine sichere Übertragung zu gewährleisten. Die Genauigkeit jeder Übertragung wird mit einem internen Datenlogger überwacht, der den gesamten Prozess aufzeichnet und für jede Übertragung einen detaillierten Prüfpfad bereitstellt. Ergospeed II wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und Genauigkeit in Produktionsprozessen sowie eine intuitive Benutzeroberfläche zu gewährleisten. Das System umfasst eine Vielzahl von Unterstützungskomponenten wie Fahrsoftware, Wartungswerkzeuge und Sicherheitssysteme, um sicherzustellen, dass der Handler mit Höchstleistung arbeitet. JENOPTIK hat BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II Wafer Handler entwickelt, um hocheffiziente, hochdurchsatzreiche Produktionslinien zu unterstützen. Der automatisierte Handhabungsprozess und die effiziente Konstruktion ermöglichen eine zuverlässige und konsistente Übertragung von Wafern mit minimalem Risiko von Kontaminationen oder Beschädigungen. Dies gewährleistet einen effizienten und zuverlässigen Halbleiterherstellungsprozess.
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