Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280753 zu verkaufen

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
Verkauft
ID: 9280753
SMIF Load port SLR 200 LPTSL/L.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II ist ein leistungsstarker Wafer-Handler, der präzise und zuverlässige Wafertransporte und Manipulationen für biomedizinische und Halbleiteranwendungen ermöglicht. JENOPTIK Ergospeed II Wafer Handler ist ein automatisiertes Robotergerät, das Halbleiterscheiben mit weniger als 1 μ m Genauigkeit mit Geschwindigkeiten von über 2000 Wafern pro Stunde übertragen, ausrichten und sortieren kann. Die Plattform des Roboters kann so konfiguriert werden, dass sie bis zu drei Wafer mit einer maximalen Belastung von 15 kg für Produktionsanwendungen mit hoher Kapazität aufnimmt. BROOKS AUTOMATION Der Rahmen von Ergospeed II besteht aus eloxiertem Aluminium mit einem Kohlefaser-Verbundrobotikarm, der eine Bewegung in fünf Achsen erreichen kann und eine breite Palette komplexer Bewegungen bietet. Der Roboter ist mit einem modifizierten Delta SPS-Bewegungsregler und einem servogetriebenen Linearantrieb ausgestattet. Dies sorgt für schnelle Beschleunigungs- und Verzögerungszeiten und ermöglicht schnellere Wafer-Manipulationen. Der Roboter verfügt auch über ein Vision-System, mit dem der Roboter die Wafer schnell und genau lokalisieren kann, indem er automatisch Marker auf dem Wafer aufnimmt. Das Vision-System dient weiterhin der Fehlererkennung und kann für andere automatisierte Aufgaben im fortschrittlichen Wafer-Handling eingesetzt werden. Ergospeed II bietet auch verschiedene Sicherheitsmerkmale für einen zuverlässigen Betrieb wie ein Endstop-Erkennungssystem, Überlastschutz und programmierbare Grenzen für den Bewegungsbereich. Dadurch wird sichergestellt, dass der Roboter die Fahrt nicht überquert und beschädigt entweder den Wafer oder die Maschine selbst. Der Roboter hat eine maximale Geschwindigkeit von 1,5 m/s und einen maximalen Arbeitsraum von 600 mm. Dieser Wafer-Handler ist eine kompakte, energieeffiziente und kostengünstige Lösung für viele biomedizinische und Halbleiteranwendungen. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II bietet eine breite Palette an Bewegungen, schnellen Geschwindigkeiten und präziser Genauigkeit für hochvolumige Wafer-Handhabungsoperationen. Mit seiner langen Lebensdauer, seiner hohen Haltbarkeit und seiner schnellen Bewegung ist JENOPTIK Ergospeed II sicher, die Leistung in der Halbleiterproduktion und in biomedizinischen Anwendungen zu maximieren.
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