Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280881 zu verkaufen

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
Verkauft
ID: 9280881
SMIF System SLR 200 LPTSL/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II Wafer Handler ist eine leistungsfähige, Roboter-Lieferausrüstung für die automatisierte Produktion von 200mm und 300mm Halbleiterscheiben. Dieser Roboterarm wird in der Waferbearbeitung, wie Lithographie, Ätzen, Diffusion und Polieren, sowie für Wafertransfer und Wafertransport zwischen verschiedenen Produktions- und Prüfstufen eingesetzt. Die Bedienung des Roboters ist einfach über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit Touchscreen-Displays zu steuern. Das ergonomische Design des Handlers macht die Handhabung der Wafer sicher und effizient und sorgt für ein hochwertiges Endprodukt. Der Handler ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie internen Lichtschranken, Not-Aus-Tasten und einem Verriegelungsmechanismus für zusätzlichen Schutz ausgestattet. Es verfügt auch über ein integriertes Doppelkupplungssystem, das reibungslos zwischen Vorwärts-/Rückwärtsbewegungen übergeht, und eine patentierte Doppelgelenkantriebseinheit, die es dem Roboterarm ermöglicht, sich in alle Richtungen mit hoher Genauigkeit zu bewegen. Das Design wird durch eine vollautomatische Wafer-Transfermaschine ergänzt, die manuelle Be-/Entladevorgänge eliminiert und die Automatisierung großer Wafer-Produktionsschritte ermöglicht. JENOPTIK Ergospeed II Wafer Handler läuft auf einer motorisch angetriebenen Spindel, die mit einem drehmomentstarken Drehmomentmotor und Encoder-Rückkopplung ausgestattet ist. Dies gewährleistet einen hochpräzisen Betrieb bei gleichzeitig schneller Waferdrehzahl. Ein fortschrittlicher Vakuum-Saugmechanismus hält und überträgt die Wafer sicher ohne Beschädigung, während mehrere Sensoren den Vakuumdruck überwachen und so eine sichere und konsistente Aufnahme gewährleisten. Der Roboter verfügt auch über eine Vielzahl von Wartungsindikatoren, die die korrekte Verwendung des Handlers gewährleisten. Ein akustischer Alarm ertönt in regelmäßigen Abständen und warnt die Mitarbeiter, alle Sicherheits- und Kontrollfunktionen zu überprüfen und anzupassen. Eine Wartungserinnerung ist auch verfügbar, die angepasst werden kann, um festzulegen, wann und wann die Wartung auf dem Roboter durchgeführt wird. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II Wafer Handler ist ein leistungsstarker Roboterarm, der eine zuverlässige, hochwertige Lösung für die Waferbearbeitung und den Transfer in automatisierten Produktionslinien bietet.
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