Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #293645362 zu verkaufen

ID: 293645362
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BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25 Wafer Handler ist eine vielseitige Lösung ideal für den Wafertransport und Transfer in der Mikroelektronik. Dieser automatisierte Waferlader kann praktisch jede Art von Wafer handhaben und zuverlässig zwischen Bearbeitungsschritten transportieren. Sein flexibles Design macht es ideal für den Inline- oder Stand-alone-Betrieb. Der Aufbau dieser Einheit umfasst fünf Schlüsselkomponenten: einen linearen Aktuator, eine kippbare Waferkassette, einen Pick-and-Place-Betrieb, einen Wafer-Encoder und einen Area-Array-Wandler. Der Linearantrieb ist für das Heben und Schieben von Wafern von der Kassette zum Wafer-Encoder verantwortlich. Die kippbare Waferkassette ist für nahezu jede Wafergröße und jedes Gewicht ausgelegt und kann zum kontinuierlichen Be- und Entladen von Wafern verwendet werden. Der Pick-and-Place-Betrieb ermöglicht eine präzise Bewegung und Positionierung von Wafern in jedem Winkel. Mit direkter Regelung und In-Line-Messung ermöglicht dies präzise Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Geschwindigkeit. Der Wafer-Encoder ist zur Identifizierung der Wafer-Querebene ausgebildet. Dieses ausgeklügelte System ermöglicht die einfache Platzierung des Wafers im gewünschten Winkel und in der gewünschten Tiefe. Der Flächenarray-Wandler verwendet lineare und optionale Auflösungen bis zu 10,5 Mikrogramm mit einer Genauigkeit von 0,5 Mikrogramm. In Verbindung mit dem Wafer-Encoder ermöglicht dies eine wiederholbare, genaue und präzise Wafer-Übertragung. Darüber hinaus ermöglichen seine mehrfachen Steuerungs- und Kommunikationsschnittstellen, einschließlich analoger Steuerung und digitaler Geräteüberwachung, optimale Flexibilität und Leistung. Insgesamt ist JENOPTIK Fixload 25 ein zuverlässiger, hochgenauer und vielseitiger Wafer-Handler. Das fortschrittliche Steuerungssystem, gepaart mit seinem flexiblen Design, ermöglicht präzise wiederholbare Leistung für Inline- und Stand-Alone-Prozesse. Darüber hinaus sind zuverlässige Leistung und geringer Wartungsaufwand eine bevorzugte Wahl für mikroelektronische Anwendungen.
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