Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #9159888 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25 ist eine automatisierte Wafer-Handhabungseinrichtung zum effizienten Be- und Entladen von Halbleiterscheiben und -kassetten. Das System ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu handhaben und kann eine Vielzahl von Kassettengrößen aufnehmen. Die Einheit besteht aus einem dreiachsigen Servoroboter, einer Basis für den Roboter, einem Steuerrechner, einer Bedienmaschine und einer Be-/Entladestation. Der Roboter ist mit zwei linearen Bewegungsstufen und einer Drehbewegungsstufe ausgestattet, die ein präzises Be- und Entladen von Wafern und Kassetten ermöglichen. Diese Bewegungsstufen bieten schnelle Zykluszeiten und zuverlässige Leistung. Das Werkzeug verfügt auch über einen Infrarot-Detektor und helle LED-Lichtquelle. Dies ermöglicht eine genaue Identifizierung der Wafer-Positionierung beim Be- und Entladen von Kassetten. Dadurch wird auch sichergestellt, dass Kassetten ohne manuellen Eingriff in der richtigen Ausrichtung belastet werden. Für ein effizientes und präzises Be- und Entladen nutzt JENOPTIK Fixload 25 mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter gepolsterte Ecken, automatische Wafer-Füllstandssensoren und einen Kassetten-Füllstandssensor. Dadurch wird sichergestellt, dass Wafer sicher in die Be-/Entladestation gelangen und Kassetten richtig be- und entladen werden. Das Asset verfügt auch über eine erweiterte Software-Suite, die zur Überwachung der Modellleistung und zur Koordinierung von Automatisierungsaufgaben verwendet wird. Diese Software enthält auch integrierte Sicherheitsfunktionen für den Geräteschutz vor Fehlern bei Automatisierungsprozessen. BROOKS AUTOMATION Fixload 25 ist ein effizientes und präzises Wafer Handling System. Seine Roboter- und Bewegungsstufen bieten schnelle Zykluszeiten und zuverlässige Leistung, während seine Sicherheitsfunktionen ein sicheres Be- und Entladen gewährleisten. Die integrierten Software- und Sicherheitsfunktionen ermöglichen zudem einen größeren Geräteschutz.