Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9097054 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200
ID: 9097054
Load Port (LPTSM/L).
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200 ist ein Wafer-Handler für die Dünnschicht-Prozessautomatisierung. Es wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen, mit Merkmalen wie kompakter Bauweise, zuverlässiger Handhabung und geringer Kreuzkontamination. JENOPTIK SLR 200 besteht aus einem Rahmen und zwei servogesteuerten Händen, die die Wafer halten. Es wurde entwickelt, um die Ausfallzeiten im Zusammenhang mit dem Laden/Entladen von Wafern zu reduzieren und das Fehlerpotenzial zu verringern. BROOKS AUTOMATION SLR 200 ist in der Lage, Wafer bis zu 16 Zoll Durchmesser und bis zu 4,5 mm dick zu handhaben. Die Hände können die Kanten der Wafer greifen, um sicherzustellen, dass sie während des Transports richtig ausgerichtet und fest gehalten werden. Der Wafer-Handler wird von einem Wechselstrommotor angetrieben und verfügt über ein fortschrittliches Überwachungssystem, um sicherzustellen, dass der Wafer-Handhabungsprozess so effizient wie möglich durchgeführt wird. Das System enthält auch Sicherheitsfunktionen, die den Wafer vor Beschädigungen durch unsachgemäße Handhabung schützen. SLR 200 ist sehr zuverlässig und einfach zu bedienen, mit wenigen Schlüsselanschlägen, die es dem Bediener ermöglichen, es für die Verarbeitung zu programmieren. Es ist in der Lage, schnell Oberflächenfehler zu erkennen und genaue Berührungspunkte auf der Oberfläche des Wafers zu lokalisieren. Die Software bietet auch eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Programmierung ermöglicht. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200 verfügt über erweiterte Funktionen wie Autofokus und Mustererkennung zur Steuerung des Wafer-Handlers, um sicherzustellen, dass die Wafer genau gehandhabt werden. Es umfasst auch integrierte Laserschneidanlagen und Prüfkomponenten für elektrische Systeme. JENOPTIK SLR 200 wurde entwickelt, um eine robuste, zuverlässige und stabile Wafer-Handling-Lösung zu bieten. Seine Konstruktion ermöglicht es auch, eine Vielzahl von Dünnschichtprozessen, einschließlich Hartmaskierung, Verkapselung, Dünnschichtabscheidung, Diffusion und anderen damit verbundenen Prozessen, aufzunehmen. Abschließend ist BROOKS AUTOMATION SLR 200 ein kostengünstiger und robuster Wafer-Handler, der den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist zuverlässig und einfach zu bedienen, und seine erweiterten Funktionen machen es zu einem vielseitigen Werkzeug für die Handhabung von Wafern in verschiedenen Größen und Formen.
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