Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9129244 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200 Wafer Handler ist eine automatisierte Roboterausrüstung zum Be- und Entladen von Wafern in Halbleiterherstellungsanwendungen. Dieses System bietet eine genaue Handhabung von Wafern in einer sterilen Umgebung. JENOPTIK SLR 200 ist mit einer ESD-Schutzeinheit (Electrostatic Discharge) ausgestattet, die Schäden an den Wafern durch elektrostatische Ladungen verhindert. Mit einem effizienten Stellantrieb können Wafer 2-3 mal schneller aus dem Werkzeug herausbewegt werden als manuelles Be- und Entladen. Die Maschine ist in der Lage, eine Spitzengeschwindigkeit von 1820 mm/s zu erreichen und kann Wafer im Bereich von 100 µm bis 200 mm handhaben. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, einschließlich eines Mapping-Tools, das eine schnelle Programmierung ermöglicht, und die Fähigkeit, bis zu 50 Wafer pro Minute zu handhaben. Das Tool wurde entwickelt, um die Produktivität zu steigern, mit einem integrierten Vision-Asset, das alle Wafertypen und -größen in einem einzigen Zyklus identifizieren kann. Das Modell bietet auch eine hohe Genauigkeit der Wafer Platzierung, mit Wiederholbarkeit von 0,2 mm. BROOKS AUTOMATION SLR 200 kann auch in Verbindung mit anderen Ladern/Entladern und Vakuumrobotern für erhöhten Durchsatz eingesetzt werden. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer Not-Aus-Taste und Infrarot-Sensoren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wafer sicher und sicher gehandhabt werden. Das System verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung und Programmierung ermöglicht. Insgesamt ist SLR 200 Wafer Handler eine effiziente und zuverlässige Plattform für das Be- und Entladen von Wafern in Halbleiterherstellungsanwendungen. Mit seiner Fähigkeit, eine breite Palette von Wafergrößen, genaue Platzierung und schnelle Geschwindigkeiten zu handhaben, ist dieses Gerät ideal für erhöhte Produktivität und Automatisierung.