Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #293624682 zu verkaufen
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ID: 293624682
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Model number: 186827-143
Part number:
180489-B02
AMETEK SP133
BROOKS 186833
173227
TLS-13B-7O00-01-0000 RFID Reader ATR60LF OEM board
186832 Z-Pivot assy
Power supply: 110-240 V, 50-60 Hz, 4 A.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision ist ein Wafer-Handler, der für die Roboterautomatisierung in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es handelt sich um eine vollautomatisierte Wafer-Handling-Lösung, die die manuelle Handhabung von Wafer-Fertigungsprozessen eliminiert. Es wurde entwickelt, um eine sichere, effiziente und kostengünstige Lösung für den Umgang mit Wafern zu bieten. JENOPTIK Vision Wafer Handler wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und Genauigkeit zu bieten. Es ist mit mehreren Sensoren und einer BROOKS AUTOMATION Vision Ausrüstung ausgestattet, die es ermöglicht, Fehler in den Wafern zu erkennen und zu messen. Darüber hinaus kann sein Vision-System die Ausrichtung der Wafer erkennen und die Wafer-Handhabungsrichtung automatisch anpassen. Dadurch kann der Wafer-Handler schnell zwischen Wafertypen wechseln und die Zykluszeit reduzieren. Der Wafer-Handler verwendet eine Reihe von Mechanismen, um verschiedene Arten von Wafern zu handhaben. Beispielsweise wird eine Bandfördereinheit verwendet, um Wafer nacheinander vom Lader auf die Abscheidestufen zuzuführen. Darüber hinaus verfügt es über vakuumbasierte Spannfutter und antistatische Kontaktpads, die zum sicheren Transfer von Wafern zwischen Stufen verwendet werden. Dadurch werden Verschmutzungen und Verschiebungen der Wafer verhindert. Der Wafer-Handler ist außerdem mit einer Mikropositioniermaschine ausgestattet, die kritische Stufen wie Fotolithographie und Ätzen präzise und wiederholbar macht. Der Mikropositionierer dient auch zur Ausrichtung von Mehrfachdüsen auf demselben Wafer, was die Genauigkeit bei kritischen Prozessen gewährleistet. Zusätzlich zu diesen Mechanismen kommt BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision Wafer Handler auch mit einem benutzerfreundlichen Linux-Bedientool, das eine schnelle und einfache Programmierung ermöglicht. Dadurch kann der Techniker Programme schnell einrichten und anpassen, um den Durchsatz zu maximieren und Kosten zu senken. Schließlich ist der Wafer-Handler mit mehreren Sicherheitsprotokollen ausgelegt. Es ist mit einem Nothaltegerät ausgestattet und das Betriebsmodell soll unsichere Eingänge verhindern. Darüber hinaus können alle Module aus der Ferne aufgerufen und überwacht werden, was eine maximale Flexibilität und Kontrolle der Geräte ermöglicht. Insgesamt ist der Wafer-Handler JENOPTIK Vision eine effiziente und kostengünstige Lösung für die Roboterautomatisierung in der Halbleiterindustrie. Durch die Kombination seines exakt gesteuerten Mechanismus, des cleveren BROOKS AUTOMATION Vision Systems, der benutzerfreundlichen Linux-Bedieneinheit und der Sicherheitsprotokolle bietet der Wafer-Handler ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für Wafer-Fertigungsprozesse.
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