Gebraucht BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411479 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision ist ein robuster robuster Roboterscheiben-Handler für die Handhabung von Halbleiterscheiben innerhalb einer Waferherstellungsanlage. Es besteht aus verschiedenen robotischen Subsystemen, die miteinander integriert sind, um ein komplettes Wafer-Handling-System für den Wafertransfer zwischen Bearbeitungsmodulen und Stufen bereitzustellen. JENOPTIK Vision Roboter Manipulator ist entworfen, um eine Vielzahl von Wafern zu handhaben. Es ist mit einem vierachsigen Roboterarm ausgestattet, der Wafer für den Transport innerhalb der Wafer-Fertigungsanlage erfassen und ausrichten kann. Der Roboter ist mit Vision-basierten Navigations- und Navigationsmarkierungen auf dem Boden von BROOKS AUTOMATION ausgestattet, um eine genaue Platzierung des Wafers zu gewährleisten. Die Position des Wafers wird mittels einer Vakuum-Durchlaßkammer überwacht, die die relative Position des Wafers erfassen und steuern kann. Der Roboterarm wird von hochpräzisen Servomotoren angetrieben, die eine genaue und schnelle Bewegungssteuerung bieten. Der Roboter verfügt auch über ein integriertes Sicherheitssystem, das potenzielle Unfälle im System erkennen und stoppen kann. Vision verfügt zudem über eine integrierte Reinigungs- und Vorreinigungsstation, die mit einem Schleudertrockner und einem Hochdruckreiniger zur Reinigung der Wafer ausgestattet ist. Der Roboter ist zudem mit einem Missionsplaner ausgestattet und kann mehrere Wafer-Handling-Programme gleichzeitig ausführen. Darüber hinaus ist der Roboter BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision auch in der Lage, den Wafer in Echtzeit zu überwachen und kann Hindernisse erkennen, den Sicherheitszustand mit Hilfe von Bordsensoren und Kameras stoppen und überwachen, um Unfälle zu erkennen. Seine integrierte Software-Funktion kann Bewegungs-, Programm- und Koordinierungsaufgaben zwischen verschiedenen Robotern steuern und verwaltet automatisch Position, Geschwindigkeit und Programmablauf. JENOPTIK Vision bietet auch Kommunikations- und Datenschnittstellen für die Verbindung mit anderen Verarbeitungsgeräten. Es ist ein effizienter und präziser Wafer-Handler, der Flexibilität, hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit für die Übertragung von Wafern bietet und eine zuverlässige und integrierte Automatisierungslösung für Wafer-Fertigungsanlagen bietet.
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