Gebraucht BROOKS AUTOMATION Lot of (2) Robots #293621700 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION 195402 ist ein Wafer-Handler, der mit einem motorisierten Gantry ausgestattet ist, um eine Vielzahl von Wafer-Handlingaufgaben auszuführen. Der Wafer-Handler ist dazu ausgelegt, Wafer zu manipulieren und einheitlichen Waferabstand zu schaffen, wenn ein Wafer-zu-Wafer-Kontakt erforderlich ist. Es ist in der Lage, bis zu vier-Achsen-Bewegung und automatisierte Operationen. Das 196402 ist ein vollautomatisches Gerät, das Wafer mit hoher Genauigkeit ohne externen Bediener übertragen und ausrichten kann. Wafer werden über einen Ein-/Ausgangsanschluss be- und entladen und mit Vakuumsaugung sicher gehalten. Der vakuumgeführte Roboterarm bewegt dann den Wafer mittels motorisierter Gantry an das gewünschte Ziel. Bewegungsachsen sind individuell einstellbar und die Waferorientierung anpassbar. 195402 ist in der Lage, verschiedene Scheibengrößen und Substrate von 200mm bis 300mm Durchmesser zu tragen. Es ist auch entworfen, um kleine und große Substrate sowie sowohl komplexe und einfache Formen zu unterstützen. Die mikrofeine Genauigkeit des Roboterarms und die geringe Funktionsgröße des Handlers machen ihn für Präzisionsanwendungen geeignet. Beispielsweise kann die 196402 für Wafer-Flipping und Positionierung sowie komplexe Wafer-Transfers zwischen Kammern und Systemen verwendet werden. Der Wafer-Handler ist potentiell mit bestehenden Systemen kompatibel und mit einer Vielzahl von Kommunikationsprotokollen ausgestattet. Es kann als eigenständiges System betrieben werden oder als Teil eines größeren Automatisierungsnetzwerks integriert werden. Der automatisierte Betrieb ermöglicht auch schnelle und gleichzeitige Operationen, was zu einem erhöhten Durchsatz führt. BROOKS AUTOMATION 195402 Wafer Handler ist ein effizientes und zuverlässiges Gerät, das einstellbar und flexibel ist. Es ermöglicht die Integration fortschrittlicher Automatisierungsstufen in eine Reihe von Systemen und Prozessen. Sein vielseitiges Design und seine mikrofeine Genauigkeit gewährleisten seine Eignung für eine Vielzahl von Wafer-Handhabungsanforderungen.
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