Gebraucht BROOKS AUTOMATİON Magnatran 7 #293809901 zu verkaufen

ID: 293809901
Robot Type: ATR-8 P/N: 017-0454-01.
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 ist ein Wafer-Handler, der automatisierte Be- und Entladevorgänge einfacher und effizienter macht. Das Gerät wird von einem Servoantrieb angetrieben und verwendet zwei Waferkassetten sowie einen Wafer-Flipper. Der Servoantrieb ermöglicht eine präzise Steuerung des Systems mit einer maximalen Geschwindigkeit von 800 mm/s auf der Waferstufe. Das Gerät verfügt über einen integrierten Sicherheitsschalter, der eine echte physische Verriegelung bietet, die Sicherheit für den Bediener durch seine Verriegelungsmechanik bietet. Der Schalthebel ist über der Wafer-Handhabungskammer angeordnet, so dass unbefugtes Personal nicht auf die Maschine zugreifen kann. Magnatran 7 Wafer Handhabungskammer enthält zwei Metallplatten, die entworfen sind, um gleichzeitig zwei 200mm Wafer zu greifen. Ein Spannwerkzeug sorgt für die notwendige Greifkraft der Platten und ein selbstreinigendes Vakuum verhindert das Eindringen von Waferstaub in das Gut. Die Kammer verfügt außerdem über einen doppelten Wafer-Flipper, der bis zu zwei Wafer gleichzeitig kippen kann. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 verwendet ein innovatives Wafer-Kassettenmodell, mit dem sowohl ein- als auch ausgehende Kassetten auf der gleichen Seite der Ausrüstung geladen werden können. Zwei Waferkassetten werden benötigt: eine, um eingehende Wafer zu halten, und die andere, um ausgehende Wafer zu halten. Die einströmende Waferkassette wird von der Außenseite der Kammer zugeführt, während die ausströmende Waferkassette von der Innenseite der Kammer zugeführt wird. Darüber hinaus können sowohl die ankommende als auch die abgehende Kassette vorbelastet werden, um einen effizienten Prozessbetrieb zu gewährleisten. Um eine präzise und konsistente Wafer-Handhabung zu gewährleisten, verwendet Magnatran 7 zwei verschiedene Vision-Systeme. Das erste System verwendet eine oberhalb der Wafer-Handhabungskammer befindliche hochauflösende Kamera, die beim Be- und Entladen von Wafern aufnimmt. Diese Einheit erfasst Bilder von der Ober- und Unterseite der Wafer, so dass visuelle Inspektionen durchgeführt werden können. Die zweite Maschine verwendet ein Stroboskoplicht, mit dem die Wafer während der Be- und Entladevorgänge exakt ausgerichtet werden. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 verfügt auch über eine integrierte Echtzeit-Verarbeitung mit SPS, die einen zuverlässigen Betrieb und eine einfache Wartung ermöglicht. Dieses Tool kann mit werkseitigen Automatisierungssystemen kommunizieren und automatisierte Prozesse wie Rezepte, Trenddaten und Monitoring ermöglichen. Zusätzlich enthält Magnatran 7 eine integrierte Fehlerberichterstattung, die Betreiber sofort benachrichtigt, wenn Probleme auftreten. Dadurch wird sichergestellt, dass Korrekturmaßnahmen rechtzeitig ergriffen werden können. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 ein zuverlässiges und effizientes Wafer-Handling-Modell, ideal für Labore, Halbleiterprozesse und alle Prozesse, die das Be- und Entladen von Wafern erfordern. Sein integrierter Sicherheitsschalter, Dual-Wafer-Flipper und zwei Vision-Systeme bieten eine präzise Steuerung der Wafer-Lasten, während seine SPS-Echtzeitverarbeitung einen zuverlässigen Betrieb und Wartung gewährleistet.
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