Gebraucht BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7 #9167827 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7 ist ein Halbleiter-Wafer-Handler für die Fabrikautomation und Prozessintegration. Das MAG7 wurde entwickelt, um ein einheitliches und zuverlässiges Wafer-Handling von der Kassette bis zur Kassette, automatisiertes Wafer-Laden, gründliche Vakuum-Verifizierung, präzise Wafer-Platzierung und sichere Wafer-Container zu gewährleisten. Das MAG7 verfügt über einen Roboterarm, der „3-achsig“ betrieben wird, was ein breites Einsatzspektrum ergibt. Der Arm ist mit einer stationären Armstütze verbunden, die den Arm in Z-Richtung bewegen kann, während ein sicheres Fundament bereitgestellt wird. Die Basis des Armes hat auch einen verstellbaren vertikalen Hub, um den Arm für ergonomische Bedienung zu senken oder anzuheben. Das MAG7 verfügt über eine intuitive, menügesteuerte Touch-Panel-Oberfläche, mit der Wafer-Kochbücher und Rezeptprogramme erstellt und gespeichert werden können. Dadurch lassen sich Waferbelastungen mit minimalem Aufwand leicht zwischen Stationen bewegen. Das Touchpanel bietet auch die Möglichkeit, Wafer-Platzierungsprogramme zu erstellen und zu speichern und bietet Flexibilität bei der Konfiguration von Wafer-Rezepten. Für zusätzliche Zuverlässigkeit sorgt ein automatisiertes Wafer-Ladesystem für eine ordnungsgemäße Platzierung und Orientierung der Wafer. Der MAG7 verwendet ein In-Line-Vakuum-Verifizierungssystem, das die Integrität der Wafer-Steckplätze überprüft und einen minimalen Eingriff des Bedieners erfordert. Um die Prozessintegration zu maximieren, ist das MAG7 so konzipiert, dass es mit mehreren Waferträgern kompatibel ist, darunter verschiedene Arten von Kassetten und FOUPs. Es kann auch in jede Prozessausrüstung integriert werden, wie Lithographie und Ätzung, die eine Waferbewegung und/oder Reinigung erfordert. Jedes MAG7 ist aus hochwertigem Aluminium gefertigt, das eine einfache Reinigung in einer Klasse 100-300 Umgebung ermöglicht. Die MAG7 verfügt auch über erweiterte dynamische Schutzüberwachung Unterstützung bei Stromausfall während einer Operation. Magnatran MAG7 bietet hervorragende Leistung und Wert für Halbleiter- und fortschrittliche Waferbearbeitungsanwendungen. Sein äußerst zuverlässiges und benutzerfreundliches Design ermöglicht eine reibungslose Integration in automatisierte Wafer-Handhabungs- und Verarbeitungssysteme. Mit seinem intuitiven Touchpanel, seinen vielseitigen Wafer-Trägerfunktionen und dem erweiterten Fehlerschutz ist das MAG7 eine der zuverlässigsten verfügbaren Wafer-Handling-Lösungen.
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