Gebraucht BROOKS AUTOMATION MTR-5 #9012382 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION MTR-5 ist ein anspruchsvoller Wafer-Handler für den automatisierten Wafertransport und die automatische Verarbeitung. Es ist eine robotergesteuerte Einheit, die Wafer innerhalb der Wafer-Bearbeitungskammer bewegt und orientiert. Sie kann so programmiert werden, dass sie Wafer drehen, pflücken und platzieren und zwischen der Wafer-Bearbeitungskammer und dem Speichermodul oder Lastschloßmodul transportieren. BROOKS AUTOMATION MTR5 ist mit mehreren Wafer-Handling-Plattformen kompatibel und eignet sich somit für eine Vielzahl von Wafer-Verarbeitungsanforderungen. MTR 5 hat eine vertikale Reichweite von bis zu 35 Zentimetern und kann in seiner Wafer-Handhabungseinheit bis zu fünf Wafer aufnehmen. Die Geschwindigkeit des Roboter-Manipulators ist einstellbar, und es ist in der Lage, Wafer in der Be- und Entladezone genau zu positionieren. Die Einheit kann den Wafer auch genau in die angegebenen X-, Y- und Z-Positionen verschieben. MTR5 verfügt auch über ein intelligentes Vakuum-Modul, das verhindert, dass Wafer durch Überhandhabung beschädigt werden. BROOKS AUTOMATION MTR 5 ist mit schnell zurückziehbaren Vakuumdüsen ausgestattet, die sanft Wafer aufnehmen können, ohne Kratzer oder Beschädigungen zu verursachen. Die Wafer-Handhabungsgeräte sind sowohl für kleinere als auch für hohe Serienanforderungen ausgelegt. Der Robotermanipulator verfügt über ein hochgenaues Positioniersystem zur präzisen Positionierung von Wafern. Es hat auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Bewegungsmessung Sicherheitsmechanismen, um das Gerät und seine Teile zu schützen. MTR-5 verfügt auch über eine integrierte SPS-Steuereinheit, die eine flexible Programmierung und individuelle Bedienung ermöglicht. Es ist auch in der Lage, mehrere Operationen parallel auszuführen. Die SPS umfasst einfach zu bedienende Touchscreen-Benutzeroberflächen für einfache Wafer-Handhabung und -Überwachung. Die Maschine verfügt auch über Remote-E/A-Ports für den Anschluss an externe Automatisierungssysteme und andere Geräte. BROOKS AUTOMATION MTR-5 wurde entwickelt, um reibungslose und zuverlässige Wafer-Kommissionier- und Platzierungsoperationen zu ermöglichen. Es kann auch für verschiedene Aufgaben wie Sortieren, Stapeln, Schablonen, Ätzen und Tauchbeschichten verwendet werden. Der Roboter-Manipulator wird mit Komponenten von höchster Qualität hergestellt und hat eine einjährige Garantie. BROOKS AUTOMATION MTR5 bietet eine effiziente Lösung für Wafer-Handling-Operationen.
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