Gebraucht BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9203435 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION MTX 2000 ist ein High-End-Präzisions-Wafer-Handler für Anwendungen wie Halbleiterherstellung, Messtechnik und Halbleitertest. MTX 2000 verwertet eine einzigartige feine Drei-Achsen-Bewegungskontrollausrüstung, um höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit für in seinen temperaturkontrollierten Raum gelegte Oblaten zu bieten. BROOKS AUTOMATION Das Feinbewegungs-Steuerungssystem MTX 2000 besteht aus drei Linearmotoren, die die X-Y-Z-Positionierung des Wafers steuern. Drei lineare Encoder messen und erfassen die genauen Positionen des Wafers. Diese komplizierte Einheit ermöglicht die Platziergenauigkeit von Einmikron-Wafern und gewährleistet die Wiederholbarkeit zwischen MTX 2000-Waferübertragungsvorgängen. BROOKS AUTOMATION MTX 2000 ist in der Lage, Wafer zu be-/entladen, zu übertragen und mit einer Genauigkeit von weniger als vier (4) Mikrometer auszurichten. Ein Robotergreifer mit hoher Kapazität ermöglicht die präzise Handhabung und den Transport von 6-12-Zoll-Wafern. Darüber hinaus vereinfacht eine automatisierte Wafer-Mapping-Funktion die individuelle Programmierung von Multi-Position-Wafer-Transfers. Die Bordcomputermaschine von MTX 2000 verwendet eine grafische Benutzeroberfläche, um alle Waferübertragungsvorgänge zu koordinieren. Die Programmiersoftware von BROOKS AUTOMATION MTX 2000 ermöglicht es Benutzern, die Transportparameter des Werkzeugs anzupassen, um die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Wafertransports zu optimieren. Das Wafer-Be-/Entladeelement besteht aus einer vakuumbasierten Waferkassettenstromversorgung, einem vakuumbasierten z-Achsen-Lift und einem Förderbandmechanismus. Um eine verschmutzungsfreie Waferübertragung zu gewährleisten, verwendet die Waferkassettenstromversorgung Stickstoffgas und ein spezielles Design, um Verunreinigungen herauszufiltern. Neben Standardmodellen ist MTX 2000 in einer Reinraumkonfiguration der Klasse 1 für Anwendungen erhältlich, die zusätzliche Sauberkeit und Sterilität erfordern. BROOKS AUTOMATION MTX 2000 bietet eine Reihe von verschiedenen Funktionen zur Temperaturregelung, Feuchtigkeitsregelung und atmosphärischen Druckregelung, um die ideale Umgebung für die Handhabung und Verarbeitung von Wafern zu gewährleisten. Die Betriebstemperatur reicht von -40 ° C bis 300 ° C und hält die Genauigkeit innerhalb von ± 1 ° C aufrecht. Die kombinierten Operationen von MTX 2000 machen es zu einer perfekten Lösung für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen.