Gebraucht BROOKS AUTOMATION MTX 4000 #9194301 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION MTX 4000 Wafer Handler ist ein automatisiertes Wafer Handling-Gerät, das entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben zu bewegen und genau in Bearbeitungswerkzeuge zu platzieren. Es eignet sich gut für Anwendungen wie Wafertransport, Waferbeladung sowie Test-Wafer-Handling, Beschichtung und Entsiegelung, Sondierung und Düsenauswahl. MTX 4000 ist mit fortschrittlichen Sensoren und Manipulatoren ausgestattet, um Wafer genau in Bearbeitungswerkzeuge zu transportieren und zu platzieren sowie die Wafergeometrie zur Qualitätssicherung zu bewerten. Der Wafer-Manipulator ist zur Betätigung des Wafers ausgebildet, während die Greifkraft und die Waferstelle synchronisiert und gesteuert werden. BROOKS AUTOMATION MTX 4000 wird von einem SPS-basierten Logiksteuerungssystem angetrieben, das die Position des Wafers auf seinem Weg permanent überwacht und steuert. Diese Einheit wird verwendet, um Präzisionseinstellungen für die Temperatur und Position des Wafers vorzunehmen, wenn er ihn zum Träger hin und vom Träger weg bewegt. Die Steuermaschine verfügt auch über zwei redundante Luftventile, um sicherzustellen, dass der Druck gleichmäßig und konsistent im gesamten Werkzeug ist. MTX 4000 beinhaltet auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie einstellbare Notabschaltventile und eine komplette Asset-Verriegelung. BROOKS AUTOMATION MTX 4000 hat auch die Fähigkeit, Schnittstelle zu anderen verwandten Hardware und Software, um das Modell zu integrieren. Dazu gehören der Einsatz von FOUP-Handhabungsmechanismen, Lastports und Kassettenmanipulatoren. OEM-Schnittstellenkarten bieten die Verbindung zwischen MTX 4000 und anderen Systemen und ermöglichen es Benutzern, Daten wie Waferrezepte zu senden, Signale zu koordinieren und andere Steuersignale zu senden/zu empfangen. BROOKS AUTOMATION MTX 4000 verfügt über mehrere zusätzliche Funktionen, wie ein farbiges Touchscreen-Terminal, mehrstufigen Passwortschutz und Unterstützung für mehrere Sprachen. Es unterstützt auch die Umweltüberwachung und nutzt Funktionen wie einen eingebauten Luftfilter, Druckaufnehmer und eine thermische Überwachung. MTX 4000 kann für unterschiedlich große Wafer konfiguriert und angepasst werden und die Geräte können entweder manuell oder automatisiert betrieben werden. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION MTX 4000 Wafer Handler ein effizientes und zuverlässiges Wafer-Handling-System mit fortschrittlichen Sensor- und Steuerungssystemen, um Genauigkeit und Sicherheit zu gewährleisten. Die breite Palette an Funktionen, Flexibilität und Integrationsmöglichkeiten machen es zu einer idealen Wahl für Wafer-Verarbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie.