Gebraucht BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #197759 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5
ID: 197759
Robot 3-Axes.
BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 ist ein leistungsstarker Wafer-Handler, der den Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterfabriken gerecht wird. Es ist eine vollautomatische SECS/GEM-konforme Ausrüstung, die eine zuverlässige Lieferung und Handhabung von 200mm und 300mm Wafern in einem Bruchteil der Zeit bietet, die manuelle Handler benötigt. Mit seiner hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit ist MULTITRAN 5 in der Lage, in einer Produktionsumgebung mit hohem Durchsatz zu arbeiten. BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 integriert einen bürstenlosen DC-Servomotor und Präzisionskugelspindelantrieb und bietet eine hochauflösende lineare Bewegung mit wiederholbarer und genauer Positionierung. Seine leistungsstarke RFID-basierte Wafer-Ein-/Ausgabefähigkeit ermöglicht es dem System, die Identität jedes Wafers zu verfolgen und ihren Weg während des gesamten Herstellungsprozesses zu überwachen. Das Gerät ist speziell für den effizienten Wafertransfer zwischen mehreren Ladungen, Kassetten, Frontendlagern, Werkzeug-/Sondenstandorten und Messtechnikgeräten konzipiert. Mit seiner teleskopierbaren Legierungsbahn und einem Paar unabhängig motorisierter Schalen kann die Maschine einen Wafer für jeden Punkt in ihrem Arbeitsbereich aufnehmen/liefern. MULTITRAN 5 bietet ein hohes Maß an Erweiterbarkeit mit einer Reihe von optionalen Funktionen, einschließlich mehrerer Kassettenschnittstellen für die Waferlieferung, Roboterarm-Schnittstelle für Gate-Steuerung, Remote-IO und zusätzliches Tablett. Es verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche für einfache Dateneingabe, Echtzeit-Diagnose und korrekte Werkzeugeinrichtung. Darüber hinaus ermöglicht die flexible Bewegungssteuerung eine einfache Integration in Fertigungsumgebungen und ermöglicht die gleichzeitige Handhabung und den Betrieb mehrerer Wafer innerhalb desselben Modells. Es bietet eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die eine schnelle Einrichtung der Ausrüstung ermöglicht, und enthält eine ganze Reihe von Optionen, um das System für Ihre anwendungsspezifischen Anforderungen zu konfigurieren. BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 ist für den Betrieb in rauen Umgebungen konzipiert, die Zuverlässigkeit und längere Lebensdauer bei minimaler Wartung gewährleisten. Mit einer patentierten trägerlosen Konstruktion beseitigt es Bedenken im Zusammenhang mit Kassetten- und Trägerverformungen und führt zu einer geringeren Beanspruchung empfindlicher Wafer. Seine robuste Konstruktion sorgt für eine längere Lebensdauer und den Bedarf an weniger Wartung und Reparatur.
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