Gebraucht BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019144 zu verkaufen
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ID: 9019144
Atmospheric transfer robot 8.4"
3-axis single arm
With SMC pressure sensor module
Does not include:
Power cable
Data cables
Robot controller
Arm edtension.
BROOKS AUTOMATION Reliance ATR ist eine Wafer-Handling-Plattform, die integrierte, automatisierte Lösungen für eine effiziente und zuverlässige Verarbeitung, Handhabung und Übertragung von Wafern bietet. Wie der Name schon sagt, wird es von BROOKS AUTOMATION entworfen und gebaut, die seit Jahrzehnten führend in der Automatisierungs- und Halbleiterindustrie ist. Reliance ATR bietet hervorragende Leistungen bei der Übertragung von Wafern zwischen Prozesskammern und zwischen Prozess- und Lagerorten. Seine Hybridantriebsausrüstung sorgt für präzise, schwingungsarme Bewegungen des Wafers, um die Risiken von Verschmutzungen und Wafersubstratschäden zu minimieren. Das System verfügt über eine automatisierte Kassettenabbildung für das schnelle und genaue Laden von Kassetten aus Kassetten gemischter Größe in Ein- und Mehrpositionsprozessgitter. Das Gerät verfügt auch über einen integrierten Passwagen, der für mehrere Größen von Kassetten- und Prozessgittern ausgelegt ist, um maximale Flexibilität bei der Handhabung von Wafern zu gewährleisten. BROOKS AUTOMATION Reliance ATR verfügt auch über integrierte Diagnose, programmiert, um die meisten Probleme zu erkennen, die den Betrieb schnell und genau stoppen könnten. Darüber hinaus bietet der einfache Zugriff auf die Kassettenzuordnung und den Wartungsverlauf eine nützliche Leistungsüberwachung und -optimierung. Reliance ATR ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich Türschlössern, Druckknöpfen und Sicherheitssystemen, um vor Manipulationen zu schützen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maschine keine Gefahrstoffe oder bewegte Teile bewirkt und die Betriebssicherheit erhöht. Insgesamt ist BROOKS AUTOMATION Reliance ATR eine effiziente und zuverlässige Plattform für die Handhabung und Übertragung von Wafern und bietet eine breite Palette von Funktionen und Sicherheitssystemen, um den Prozess zu optimieren und sicherzustellen, dass Wafer während des Prozesses nicht beschädigt werden. Das Hybridantriebswerkzeug, die integrierte Diagnose und der einfache Zugriff auf die Wartungshistorie machen es zu einer großartigen Wahl für jede Anwendung, die ein leistungsstarkes Wafer-Handling erfordert.
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