Gebraucht BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019152 zu verkaufen
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ID: 9019152
Atmospheric wafer transfer robot 8.4"
Single arm
Equipped with Keyence AP-31K pressure sensor module
Does not include:
Power cable
Date cables
Robot controller
Arm extension.
BROOKS AUTOMATION Reliance ATR ist eine fortschrittliche Wafer-Handler-Technologie, die zuverlässige, effiziente und flexible Lösungen für Fabs und Mikroelektronik-Hersteller bietet. Der ATR nutzt einen zweistufigen Roboterarm, der ein effizientes und schnelles Be- und Entladen von einzelner Waferkassette auf Kassettenübertragung ermöglicht. Der Roboterarm bewegt rasch einen Halter, der den Wafer enthält, von der Kassette zur Kassette, so dass der Wafer in Produktionsbereichen rasch überführt wird. Der ATR-Roboterarm verfügt zudem über ein präzises Geschwindigkeitsprofil, um die Genauigkeit der Platzierung von Wafern zu gewährleisten. Das ATR ist für eine Vielzahl von technischen und fertigungstechnischen Anforderungen ausgelegt. Es ist mit einem fortschrittlichen programmierbaren Controller mit einer robusten und intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet. So können neben der Aufrechterhaltung eines hohen Automatisierungsgrades auch individuelle Routinen für verschiedene Wafer-Handling-Aufgaben erstellt werden. Das System speichert bis zu 4 Kassettenpositionen und ist damit ideal für die Herstellung mit hohem Durchsatz. Das ATR ist mit einer starren Basis und zuverlässigen Komponenten ausgelegt, um höchste Leistung zu gewährleisten. Es bietet eine erweiterbare Systemarchitektur, die die Integration zusätzlicher Peripheriegeräte wie Vision-Systeme und Lasermarkierungen ermöglicht. Der modulare Aufbau unterstützt das Laden oder Entladen von einer oder mehreren Kassetten. Das System ist in der Lage, Wafer mit Geschwindigkeiten von bis zu 30 WPM zu übertragen. Das ATR verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmaßnahmen wie mechanische Verriegelungen und Not-Aus-Tasten, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Das schlanke, kompakte Design spart wertvollen Platz, während der integrierte Roboterarm ein präzises Wafer-Handling ermöglicht. All diese Merkmale machen Reliance ATR zur idealen Wafer-Handling-Lösung für jede Mikroelektronik-Produktionslinie.
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