Gebraucht BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591708 zu verkaufen

ID: 293591708
Controller Model no: T5X-S2.
BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler ist eine speziell entwickelte Software- und Hardware-Ausrüstung zur Automatisierung von Wafer-Transfers mit geringer Menge/Batch von einem Prozesswerkzeug zum anderen. Diese Automatisierungslösung ist eine ideale Wahl für kleine Labore und Anlagen oder für Anwendungen mit geringem Waferdurchsatz. Techware 5 Express Wafer Handlerfeaturessophisticated, benutzerfreundliche Software, sowie zuverlässige Servo- und Schrittmotoren, die von einem dedizierten 3-Achsen-Controller gesteuert werden. Dies ermöglicht eine schnelle, genaue Übertragung von Wafern mit direkter Kontrolle über Position, Geschwindigkeit und Beschleunigungsparameter. Die Systemsoftware ermöglicht auch die einfache Einrichtung und Konfiguration der Wafer-zu-Wafer-Bewegung bei der Überwachung von Ist/Soll-Positions- und Geschwindigkeitswerten. Zusätzlich beinhaltet das Gerät integrierte Pick and Place Werkzeuge zum autonomen und sicheren Heben von Wafern von Lastports sowie einen analogen +/- 10V Eingang zur optionalen Steuerung des mechanischen Roboterarms. Dieser Wafer-Handler ist vollständig mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines Notstopps und Sicherheitsverriegelungen, um die Maschine vor Störungen zu schützen. Das Werkzeug ist auch in der Lage, bis zu 200 Programme für kontrollierte und wiederholbare Fertigungsvorgänge zu speichern. Die integrierte funktionale Sicherheitsbewertung erhöht die Sicherheit und Zuverlässigkeit der Anlage erheblich. Beispielsweise muss sich der Roboter in einem Bereitschaftszustand befinden, bevor ein Bewegungsbefehl erlaubt ist und Eingabe- und Ausgangssignale in einem vorgegebenen logischen Zustand sein müssen, bevor eine Bewegung stattfindet. BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler hat eine robuste Konstruktion mit Edelstahlkolumen und lackierter Grundplatte und ist mit wartungsarmer und wartungsarmer -simplyplug es in und das Modell ist fast sofort einsatzbereit. Mit einer überlegenen Leistung und Geschwindigkeiten von 1 m/s und einer Wiederholbarkeit von +/- 0,05 mm ist dieser Wafer-Handler eine ideale Lösung für Batch-Transfers in Halbleiterherstellungsprozessen. Mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und erweiterten Sicherheitsfunktionen ist der Techware 5 Express Wafer Handler die richtige Wahl, um Ihre Automatisierungsanforderungen zu erfüllen.
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