Gebraucht BROOKS AUTOMATION VAC407 #9211501 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION VAC407 ist ein Wafer-Handler für den Einsatz in der Herstellung von Halbleitern. VAC407 ist eine automatisierte Ausrüstung zum Austausch von Wafern zwischen Prozesswerkzeugen, wie Ätzern und Öfen, und Waferkassetten mittels Roboterarmen. BROOKS AUTOMATION VAC407 kann neun und zwölf Zoll-Wafer sowie acht, zwölf und sechzehn Zoll-Wafer bis zu einer Dicke von 200 Mikron verarbeiten. Das System wird über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) auf einem Touchscreen-Panel betrieben. Dies macht es den Operatoren leicht, die Parameter der Prozessrezepte zu ändern. Die einstellbaren Parameter umfassen die Lage und Orientierung des Wafers, die Wafergeschwindigkeit und Beschleunigung, die Fahrzeit zwischen verschiedenen Werkzeugen sowie die verwendeten Vakuum- und Druckniveaus. VAC407 ist mit zwei unabhängigen Roboterarmen zum Austausch der Wafer ausgestattet, die einen gleichzeitigen Transfer zwischen Bearbeitungswerkzeugen und Waferkassetten ermöglichen. Das Gerät ist mit einem Vakuumaufnehmer ausgestattet, der den Wafer in der richtigen Ausrichtung für den Austausch hält. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einzigartige Zuordnungsalgorithmen, die genaue Übertragungen gewährleisten. BROOKS AUTOMATION VAC407 ist mit einem leistungsstarken Cognex Vision Tool zur Ortung und Verifizierung von Waferkassetten und Werkzeugen ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Roboterarm Wafer immer korrekt mit den richtigen Waferkassetten und den richtigen Bearbeitungswerkzeugen identifiziert und austauscht. VAC407 verfügt zudem über eine integrierte Sicherheitseinrichtung zur Vermeidung von Roboterkollisionen, Umweltverschmutzung und abnormen Prozessbedingungen. Das Modell umfasst leistungsstarke Pneumatik und Software-Sicherheitsfunktionen, wie automatische Werkzeugabschaltung und Not-Aus-Tasten. Das Gerät verfügt auch über eine Selbstdiagnose-Funktion, die automatisch auf anormale Bedingungen prüft und auf dem Touchscreen anzeigt, um sicherzustellen, dass das System sicher bedient werden kann. BROOKS AUTOMATION VAC407 ist ein zuverlässiger, benutzerfreundlicher Wafer-Handler, der genaue Übertragungen gewährleistet und Wafer-Kontaminationen während des Verarbeitungsprozesses verhindert. Das Gerät ist außerdem mit leistungsstarken Sicherheitsmerkmalen und einer Selbstdiagnose ausgestattet, was es sehr zuverlässig macht und das Ausfallpotenzial reduziert.