Gebraucht BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 #9013390 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 ist ein fortschrittlicher, automatisierter Wafer-Handler, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. VacuTran 5 enthält mehrere prozessspezifische Optionen, die auf die Kundenanforderungen zugeschnitten werden können. Der auf einer flexiblen Plattform aufgebaute BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 eignet sich für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen, darunter Wafertransport, Wafersortierung, In-situ-Waferbearbeitung und Wafer-Recycling. VacuTran 5 besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Basiseinheit, in der der Transportmechanismus untergebracht ist, und einem Controller-Modul, in dem Software und Benutzeroberfläche untergebracht sind. Die Basiseinheit besteht aus einem robusten Rahmen, motorisierten Transportschienen und einer Schiebeschublade, in der die Wafertransporter untergebracht sind. Die Transporter werden von Rädern auf Schienen geführt, von einem Elektromotor geschoben und gezogen. Das motorisierte Antriebssystem ist auf optimierte Leistung ausgelegt, unabhängig von den unterschiedlichen Größen und Formen der Wafer. Das Controller-Modul enthält die Software-Engine und die Benutzeroberfläche. Die Software soll den Transport und die Manipulation der Wafer erleichtern. Es umfasst einen automatisierten Einrichtungsprozess, der die Analyse der Wafergrößen und -formen, die Auswahl der besten Transportgeschwindigkeiten und das Muster der Waferspanne umfasst. Die automatischen Waferausrichter sorgen für eine genaue Positionierung der Wafer vor dem Transport, wodurch mögliche Fehlstellungen vermieden werden. Darüber hinaus kann die einzigartige Waferformungseinheit von BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 auch zur Umformung und Demodulierung der Wafer verwendet werden. VacuTran 5 bietet eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines integrierten Umweltkontrollsystems zur Regulierung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit sowie Sicherheitssensoren, die Personal bei übermäßiger Bewegung oder Handhabung erkennen und warnen. BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 ist auch der einzige Wafer-Handler mit einer vollautomatischen Wafer-Be- und Entladefunktion. Das System verteilt die Wafer sicher und präzise, mit der Fähigkeit, große und kleine Wafer gleichzeitig zu handhaben. Insgesamt bietet VacuTran 5 eine robuste und zuverlässige Plattform, um die effiziente und genaue Handhabung von Halbleiterscheiben zu erleichtern und ist somit ideal für industrielle Anwendungen geeignet. Mit Funktionen wie automatisiertem Transport und benutzerfreundlicher Software bietet BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 hohe Leistung, Vielseitigkeit und Sicherheit für jede Halbleiterproduktionslinie.
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