Gebraucht BROOKS AUTOMATION VTR-5 #293666638 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION VTR-5 Wafer Handler ist ein Gerät zum Bewegen und Manipulieren von Wafern in Wafer-Verarbeitungsgeräten. Es ist in der Lage, ein- oder doppelseitige Wafer Handhabung Operationen mit einer Kadenz von bis zu 800 Bewegungen pro Minute. VTR-5 transportiert Wafer sicher zwischen Kassetten, Reaktoren, Maskenausrichtern, Öfen und Ionenimplantaten. Es verfügt über einen optionalen Wafer-Ein-/Ausgang-Shuttle zur Förderung von Wafern mit höherer Geschwindigkeit. BROOKS AUTOMATION VTR-5 verfügt über eine modulare Brückenwagen-Baugruppe, die sowohl einseitige als auch doppelseitige Wafer-Handhabungsoperationen unterstützt. Das einfach zu integrierende Wafer-Shuttle-Design ermöglicht das Be-/Entladen von Robotern und die schnelle Waferübertragung. Die Steuerelektronik verfügt über eine Druckknopf-Benutzeroberfläche und LED/LCD-Anzeigen, um anzuzeigen, ob sich eine bestimmte Komponente im Transportmodus oder im Fehlermodus befindet. VTR-5 verfügt über ein zweistufiges Design, um Waferschutz und präzise Wafer-Manipulation zu gewährleisten. Die erste Stufe beinhaltet ein fusselfreies Tuch, das um die Waferhülse gewickelt ist, um eine Partikelverunreinigung zu verhindern. Die zweite Stufe beinhaltet die Verwendung einer empfindlichen Wafer-Positioniervorrichtung, die das Klemmen, Positionieren und Drehen eines Wafers ermöglicht. Dieser sensible Vorgang ermöglicht eine genaue Platzierung von Wafern relativ zu den Ausrichtregistermarken. Der Wafer-Handhabungsmechanismus besteht aus einem Dreigelenkprofil, das eine genaue Waferbearbeitung ermöglicht. Dieses Dreigelenkprofil wird von einem Schrittmotor angetrieben und kann Wafergrößen von 50 bis 300 mm handhaben. BROOKS AUTOMATION VTR-5 verfügt auch über einen großen Be- und Entladebereich für Wafer, der zur Verringerung von Bruch und Kontamination beiträgt. Der Wafer-Handler wird von einem Modular Automated Protocol Carrier (MAPC) -Programm gesteuert. Das Programm speichert benutzerdefinierte Rezepte und bietet eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, um Wafer-Handhabungsvorgänge schnell zu programmieren und zu steuern. Die Kommunikation mit verschiedenen Geräten wird über das RS-485 Protokoll ermöglicht. Das System wird von einer Allen-Bradley SPS angetrieben und sicher an eine 3-Phasen-Stromquelle angeschlossen. VTR-5 Wafer Handler ist ein äußerst zuverlässiges und flexibles Werkzeug zur Manipulation von Wafern in einer Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen. Der automatisierte Betrieb hilft dabei, Präzision, Genauigkeit und Kontrolle der Waferbewegung zu gewährleisten und gleichzeitig die Möglichkeit von Partikelverunreinigungen und physischen Schäden zu reduzieren. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen und Fähigkeiten ist dieser Wafer-Handler eine ausgezeichnete Wahl für Wafer-Handling-Aufgaben in Organisationen wie Labors, Halbleiter- und integrierten Schaltungsherstellern.