Gebraucht BROOKS Fixload #9255153 zu verkaufen

Hersteller
BROOKS
Modell
Fixload
ID: 9255153
Handler For KLA / TENCOR SP1-DLS.
BROOKS Fixload ist ein Wafer-Handler, der die Handhabung und den Transport von Teilen optimiert. Dieser für die Halbleiterindustrie entwickelte Wafer-Handler ist mit verschiedenen Funktionen und Modulen vorprogrammiert, die eine Vielzahl von Wafer-Lade-, Mapping- und Sortieranwendungen unterstützen. Mit einer Reihe von Greif- und Teil-Haltemöglichkeiten kann Fixload Handler verwendet werden, um präzise und präzise mit Wafern, Retikeln, flachen Platten und anderen Substraten umzugehen. Zum manuellen Laden kommt BROOKS Fixload Handler mit einem zweiachsigen linearen Teil Manipulation Ausrüstung. Dieses System vereinfacht das Be- und Entladen von Teilen und überträgt diese sicher an die Teilehaltemöglichkeit. Zum manuellen Entladen verfügt Fixload über einen Stiftgräber, eine Durchlauftasche, eine Abholoption für Flachbildschirme und eine vakuumbetätigte Wafertasche. Der Stiftgräber ist so konzipiert, dass Wafer sicher freigegeben werden können, während die Option für den Einsatz im Umgang mit temperaturempfindlichen Substraten spezifiziert ist. Für thermische und mechanische spannungsempfindliche Anwendungen umfasst BROOKS Fixload eine optionale Wärmestation zur schnellen und präzisen Bearbeitung von Wafern und Substraten. Diese Station verfügt über eine in sich geschlossene Heizeinheit, schnelles Temperaturverhalten und eine präzise Regelung der Heiztemperaturen. Die Fixlast wird auch mit mehreren Wafertransportmodulen wie einem Wafer-Mapper, zweidimensionalen oder dreidimensionalen geteilten Kammern sowie Vakuumfuttern und Gasdüsen geliefert. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, enthält der BROOKS Fixload Handler eine erweiterte CCD-Bildverarbeitungsmaschine. Dieses Tool bietet Echtzeit-Autofokus, Wafer-Standorterkennung, flexible Vergrößerungseinstellungen und Bild-in-Bild-Funktion. Es kann auch das Vorhandensein von Wafern mit genauer Größe und Orientierung selbst erkennen und koordiniert Waferbewegungen. Das CCD Vision Asset bietet ein hochauflösendes Bild mit geringer Verzerrung und ist somit ideal für invertierte Anwendungen geeignet. Der Fixload-Wafer-Handler ist mit einem intuitiven Touchscreen-Display ausgestattet, mit dem Benutzer verschiedene Wafer-Lade-, Sortier- und Zuordnungsvorgänge problemlos steuern können. Das Display wird auch mit einem integrierten Protokollierungsmodell geliefert, um die volle Rückverfolgbarkeit aller Operationen zu gewährleisten. Darüber hinaus ist BROOKS Fixload Handler mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die den sicheren Transport von Teilen gewährleisten. Dazu gehören einstellbare Geschwindigkeitsbegrenzungen, Not-Aus-Schalter und sichere Flächenbegrenzung.
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