Gebraucht BROOKS Magnatran 7 #293604921 zu verkaufen
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ID: 293604921
Robot
NOVELLUS Driver P/N: 003-1600-25
NOVELLUS Arm set P/N: 002-0016-04/14.
BROOKS Magnatran 7 ist ein automatisiertes Wafer-Handling-Gerät, das für hohen Durchsatz, maximale Effizienz und zuverlässige Verarbeitung von Einzel- und Dual-Stack-Waferkonfiguration entwickelt wurde. Die Automatisierung und Flexibilität ermöglichen den Einsatz in Umgebungen von Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienfertigung. Das System verfügt über einen Wafer-Handling-Bereich, in dem Wafer unterschiedlicher Breite in einer C-Typ-Anlagenkonfiguration bearbeitet werden. Die Wafer werden im oberen oder unteren Träger verarbeitet und können in der Größe von 150 mm bis 300 mm im Durchmesser reichen. Die Wafer werden mit zwei Klemm- und Walzensystemen festgehalten, während sie auf und ab einer vertikalen Bahn transportiert werden. Wafer werden manuell oder über einen Roboterlader/Entlader platziert und entnommen. Im Betrieb führt das Gerät mehrere Prozessschritte wie Schleuderbeschichtung, Asche, Kantenabdichtung, Backen und Trocknen durch. Magnatran 7 wird von einem proprietären Servomotor angetrieben, der eine hohe Geschwindigkeit und präzise Positionsgenauigkeit aufweist. Dadurch kann die Maschine die Waferbahn schnell beschleunigen und abbremsen, wodurch sichergestellt ist, dass die Wafer jederzeit mit der richtigen Zeit- und Geschwindigkeitseinstellung bewegt werden. Darüber hinaus hat die Maschine die Fähigkeit, die Position der Waferbahn bei Bedarf genau zu erfassen und einzustellen, so dass sie für einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb geeignet ist. Darüber hinaus bietet das BROOKS BROOKS Magnatran 7 eine Reihe erweiterter Steuerungsfunktionen und -prozesse, einschließlich der Überwachung von Werkzeugereignissen und der Parametereinstellung, um reproduzierbare Prozessleistung und -ausbeute zu gewährleisten. Es hat auch eine Fehlererholungsnachrichteneigenschaft, die vor der Oblate warnt, die mis-in-einer-Prozession-geht, bevor Material verloren wird. Die Maschine ist auch mit einer umfassenden Fehlererkennung und einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die dazu beitragen, die Chancen von körperlichen Unfällen zu reduzieren. Insgesamt bietet Magnatran 7 zuverlässigen, genauen und hohen Durchsatz Betrieb mit einer leicht konfigurierbaren Mikroverarbeitungsumgebung. Es eignet sich ideal für eine breite Palette von Waferbearbeitungsanwendungen, von Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienfertigung.
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