Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-52 #9254399 zu verkaufen

ID: 9254399
Robot wafer prealigner.
BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-52 ist eine vollautomatisierte Wafer-Handhabungslösung, die auf Genauigkeit und Zuverlässigkeit im Wafer-Herstellungsprozess ausgelegt ist. Es ist für eine breite Palette von Anwendungen wie Multi-Stack-Wafer-Handling, Mehrzweck-Wafer-Laden und Wafer-Level-Tests konzipiert. Es handelt sich um eine Roboterausrüstung, die aus einer beweglichen Armanordnung, einer Waferübergabestation, einer Waferorientierungseinrichtung und einer elektronischen Bewegungssteuerung besteht. Die bewegliche Armanordnung ist dafür zuständig, die Wafer von einer Station zur anderen zu transportieren und die Ausrichtung und Bewegung des Wafers genau zu steuern. Dies geschieht durch die Kombination von Motoren, Gelenken und Positionssensoren. Die Wafer-Übergabestation dient zum Transport des Wafers in die Prozeßstufe, während die Wafer-Orientierungseinrichtung dazu dient, den Wafer richtig auszurichten, bevor er in die Station eintritt. Die Kombination dieser Komponenten arbeitet zusammen, um eine genaue und zuverlässige Waferbewegung zu erzielen. Der elektronische Bewegungsregler ist das Herzstück des Systems, da er der beweglichen Armanordnung die notwendigen Befehle liefert und die Präzisionsbewegung der Wafer ermöglicht. Dieser Controller wird von mehreren Eingabegeräten wie dem HumanMachine Interface (HMI) oder dem Programmable Logic Controller (SPS) angesteuert. Diese Controller können an das Gerätenetz angeschlossen werden, was eine Fernüberwachung und Steuerung der Maschine ermöglicht. Darüber hinaus kann BROOKS 002-7391-52 mit einer Vielzahl von Sensoren und Prozesssoftware konfiguriert werden, um kundenspezifische Lösungen für die Anwendung bereitzustellen. Beispielsweise kann sie verwendet werden, um Waferstellen zu verfolgen, Druck zu messen, Verschmutzungen zu erkennen und eine präzise Positionierung der Wafer vorzusehen. Dies sorgt für konsistente Ergebnisse über mehrere Produktionsläufe hinweg und trägt zur Verringerung der Prozessvariation bei. Insgesamt ist PRI AUTOMATION 002-7391-52 Asset eine vielseitige und äußerst zuverlässige Wafer-Handling-Lösung, die den Durchsatz und die Genauigkeit erhöht und Ausfallzeiten und Kosten reduziert. Es ist einfach in bestehende Systeme integriert und kann Echtzeitdaten und Analysen bereitstellen, um den gesamten Prozess zu optimieren. Dies macht es zu einer idealen Lösung für Anwendungen mit großvolumigen Wafern.
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