Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 003-9010-13 #9111117 zu verkaufen

BROOKS / PRI AUTOMATION 003-9010-13
ID: 9111117
Robots P/N: 9907-10431 0005-10154 9907-10432.
BROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13 ist ein mechanisierter Wafer-Handler, der in der industriellen Halbleiterindustrie verwendet wird. Dieser Wafer-Handler wurde entwickelt, um Wafer in höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu übertragen und zu bewegen. Es kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200mm handhaben. Die Automation BROOKS 003-9010-13 besteht aus einem zweiachsigen Servoantrieb und einem stationären, schwerkraftversorgten Waferschacht. Das zweiachsige Servoantriebssystem wird durch eine digitale Servoeinheit mit geschlossenem Regelkreis für eine präzise und schnelle Positioniersteuerung angetrieben. Der Servomotor verfügt über sinusförmige oder trapezförmige Bewegungsprofile und ist für den Umgang mit Wafern mit den höchsten Geschwindigkeiten ausgelegt, ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen. Die Antriebsmaschine ist außerdem mit einem Interrupt-Werkzeug und einer programmierbaren Strombegrenzung ausgestattet, um eine sichere Handhabung empfindlicher Wafer zu gewährleisten. Der statische Wafer-Schacht ist darauf ausgelegt, bis zu vier Wafer präzise und zuverlässig an den Handler zu liefern. Es verfügt über individuelle Be-/Entladeöffnungen für jeden Wafer und ermöglicht den Wechsel zwischen Chargenbeladung und kontinuierlicher Zuführung. Zusätzlich ist die Wafer-Rutsche entworfen, um die Wafer-Ablenkung zu reduzieren und ist entworfen, um Vibrationen und Geräusche zu minimieren. PRI AUTOMATION 003-9010-13 verfügt über eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, die dazu beitragen, seine Zuverlässigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten, wie ein integriertes ESD-Schutzelement, versiegelte optische Encoder und ein integriertes, digitales Datenerfassungs- und Steuerungsmodell. All diese Merkmale sorgen dafür, dass die Wafer mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit gehandhabt werden können. Die Automation 003-9010-13 wurde entwickelt, um den Anforderungen der industriellen Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Die Eigenschaften dieses Wafer-Handlers machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die fortschrittliche Wafer-Handling-Lösungen benötigen, die anspruchsvolle Genauigkeitsanforderungen erfüllen können. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Benutzerfreundlichkeit ist BROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13 eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die hochwertige, zuverlässige Wafer-Handler benötigen.
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