Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 105151 #9267821 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 105151 Wafer Handler ist eine erstklassige Ausrüstung für die Handhabung, Verarbeitung und den Transport von Halbleiterscheiben in Laboren und anderen Reinraumumgebungen. Das System bietet präzise Wafer-Handling-Operationen in einer Reihe von Halbleiterherstellungsanwendungen von Dünnschichtabscheidung über Lithographie bis hin zur Messtechnik sowie lichtdichte Laborgehäuse zum Schutz der Wafer vor Kontamination. Der Wafer Handler besteht aus einer Haupteinheit, Autoloader-Port, Wafer-Förderer, Vakuum-Roboter, Array von Manipulator Arme, 90 ° Winkel Lift und Wafer Tray, und Luft Aktuator und Steuersysteme. Die Haupteinheit beherbergt den Roboter und andere Komponenten, um eine abrufbare Transferkammer zu schaffen, die luftdicht ist und eine konsistente Temperatur- und Feuchtigkeitsumgebung aufrechterhält. Der Autoloader-Port verwaltet Wafer-Ein- und Entladevorgänge effizient und präzise. Es ist eine vollmechanische Einheit, die die Partikelerzeugung und -verschmutzung minimiert. Der Förderer bewegt die Wafer, Kassetten und Schalen zum Be-/Entladen durch die Kammer, wodurch ein nahtloser Transfer und Handhabung von Wafern zwischen Kassetten und/oder Schalen ermöglicht wird. Die Manipulatorarme folgen während des Wafertransfers programmierten Routen innerhalb des Robotermoduls. Die Arme verfügen über eingebaute Schutzelemente, um einen versehentlichen Kontakt mit den Wafern und Sicherheitssensoren zu verhindern, um Bedienelemente bei Alarmierung abzuschalten. Der 90 ° -Winkelhub besteht aus einer Antriebs-, Hub- und Rotatorbaugruppe, die Wafer mechanisch von der Schalenebene auf die Roboterebene transportiert. Das Wafer-Tablett ist ein intelligentes Gerät, das die Kassette, das Tablett und/oder den Wafer vom Roboter nimmt und auf die Tablettebene transportiert. Das Luftaktuator- und Steuerungssystem bietet eine Automatisierungsablaufsteuerung und individuelle Aktuatorsysteme für jede Armkoordinatenbewegung in vorgegebene Positionen mit möglichst hoher Genauigkeit. Der Wafer-Handler BROOKS 105151 wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit im Wafertransport zu gewährleisten, ohne die Sauberkeit des Labors zu beeinträchtigen. Seine fortschrittliche Automatisierungsmaschine bietet zuverlässige Wafer-Handhabungsfunktionen, während die interne Kammer eine hochreine und kontrollierte Umgebung bietet, die Wafer vor Verschmutzung schützt und konstante Betriebstemperaturen aufrechterhält.