Gebraucht BROOKS / PRI AUTOMATION 141001-0031 JET #9201728 zu verkaufen

BROOKS/PRI AUTOMATION 141001-0031 JET Wafer Handler ist eine hochspezialisierte, hochpräzise Roboterausrüstung, die in der Halbleiterindustrie weit verbreitet zur Handhabung von Wafern verwendet wird, während sie verarbeitet werden. Es ist in der Lage, Wafer zwischen Prozesskammern zu übertragen, sowie komplexe Operationen wie Ausrichten und Stapeln durchzuführen. Das JET-System ist ein Roboterarm, der auf einer obenliegenden Schieneneinheit montiert ist. Der Arm kann genau gesteuert und programmiert werden, um sich in drei Richtungen (X-, Y- und Z-Achsen) zu bewegen, was bis zu drei Freiheitsgrade ermöglicht. Dies ermöglicht eine sehr genaue Positionierung des Endeffektors, für Aufgaben wie das Aufnehmen und Übertragen von Wafern von und zu Prozesskammern. Der Endeffektor selbst kann auch für komplexe Operationen wie Waferausrichtung und Stapelung programmiert werden. Die JET-Maschine ist mit mehreren fortschrittlichen Technologien ausgestattet, die die Genauigkeit und Zuverlässigkeit gewährleisten. Beispielsweise nutzt der Arm Nassreibungssteuerung und mehrachsige Nachführung, die zusammenwirken, um sicherzustellen, dass sich der Endeffektor präzise bewegen und die Prozesskammer linear verfolgen kann. Darüber hinaus ist das Tool auch mit einem eingebauten Kalibrierelement konzipiert, das die Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Das JET-Modell verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die sowohl den Endeffektor als auch die Wafer schützen, die es handhabt. Zum Beispiel ist das Gerät mit einem Wafer-Durchlaufvermeidungssystem ausgestattet, das Fehlausrichtungen und Kollisionen erkennt und vermeidet. Darüber hinaus verfügt das Gerät auch über eine Waferoberflächenschädigungsmaschine, die hilft, Kratzer, Späne und andere Oberflächenschäden zu erkennen, die durch Fehlhandlungen entstanden sein könnten. Insgesamt ist BROOKS 141001-0031 JET ein anspruchsvolles Roboterwerkzeug, das viele Vorteile in der Halbleiterindustrie bietet. Es ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Technologien und Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die die Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit beim Umgang mit Wafern während des Prozesszyklus gewährleisten.